हे उपकरण इलेक्ट्रॉन बीम बाष्पीभवन तंत्रज्ञानाचा अवलंब करते. कॅथोड फिलामेंटमधून इलेक्ट्रॉन उत्सर्जित केले जातात आणि एका विशिष्ट बीम प्रवाहामध्ये केंद्रित केले जातात, ज्याला कॅथोड आणि क्रुसिबलमधील विभवाद्वारे प्रवेगित करून लेपन सामग्री वितळवली जाते व तिचे बाष्पीभवन केले जाते. यात उच्च ऊर्जा घनतेची वैशिष्ट्ये आहेत आणि ते ३००० ℃ पेक्षा जास्त वितळणबिंदू असलेल्या लेपन सामग्रीचे बाष्पीभवन करू शकते. या फिल्ममध्ये उच्च शुद्धता आणि उच्च औष्णिक कार्यक्षमता असते.
हे उपकरण इलेक्ट्रॉन बीम बाष्पीभवन स्रोत, आयन स्रोत, फिल्म जाडी निरीक्षण प्रणाली, फिल्म जाडी सुधारणा रचना आणि स्थिर छत्री वर्कपीस रोटेशन प्रणालीने सुसज्ज आहे. आयन स्रोताच्या साहाय्याने केलेल्या कोटिंगमुळे, फिल्मची घनता वाढते, अपवर्तनांक स्थिर होतो आणि आर्द्रतेमुळे होणारे तरंगलांबीतील बदल टाळले जातात. पूर्ण-स्वयंचलित फिल्म जाडीची रिअल-टाइम निरीक्षण प्रणाली प्रक्रियेची पुनरावृत्तीक्षमता आणि स्थिरता सुनिश्चित करू शकते. ऑपरेटरच्या कौशल्यावरील अवलंबित्व कमी करण्यासाठी यात स्व-वितळण कार्यप्रणाली (सेल्फ मेल्टिंग फंक्शन) दिलेली आहे.
हे उपकरण विविध ऑक्साईड आणि धातूंच्या कोटिंग सामग्रीसाठी वापरले जाते आणि त्यावर एआर फिल्म, लाँग वेव्ह पास, शॉर्ट वेव्ह पास, ब्राईटनिंग फिल्म, एएस/एएफ फिल्म, आयआरसीयूटी, कलर फिल्म सिस्टीम, ग्रेडियंट फिल्म सिस्टीम इत्यादींसारख्या बहु-स्तरीय अचूक ऑप्टिकल फिल्म्सचे कोटिंग केले जाऊ शकते. याचा वापर एआर ग्लासेस, ऑप्टिकल लेन्स, कॅमेरे, फिल्टर्स, सेमीकंडक्टर उद्योग इत्यादींमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जातो.