जीएक्स६००

हे उपकरण समोरच्या दरवाजाची उभ्या रचना आणि क्लस्टर लेआउटचा अवलंब करते. ते धातू आणि विविध सेंद्रिय पदार्थांसाठी बाष्पीभवन स्त्रोतांसह सुसज्ज असू शकते आणि विविध वैशिष्ट्यांचे सिलिकॉन वेफर्स बाष्पीभवन करू शकते. अचूक संरेखन प्रणालीसह सुसज्ज, कोटिंग स्थिर आहे आणि कोटिंगमध्ये चांगली पुनरावृत्ती क्षमता आहे.
GX600 कोटिंग उपकरणे अचूकपणे, समान रीतीने आणि नियंत्रितपणे सेंद्रिय प्रकाश-उत्सर्जक पदार्थ किंवा धातूचे पदार्थ सब्सट्रेटवर बाष्पीभवन करू शकतात. त्याचे साधे फिल्म फॉर्मेशन, उच्च शुद्धता आणि उच्च कॉम्पॅक्टनेस हे फायदे आहेत. पूर्ण-स्वयंचलित फिल्म जाडी रिअल-टाइम मॉनिटरिंग सिस्टम प्रक्रियेची पुनरावृत्ती आणि स्थिरता सुनिश्चित करू शकते. ऑपरेटरच्या कौशल्यांवर अवलंबून राहणे कमी करण्यासाठी ते स्वयं-वितळण्याच्या कार्यासह सुसज्ज आहे.
हे उपकरण Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti आणि इतर धातूंच्या पदार्थांवर लागू केले जाऊ शकते आणि त्यावर मेटल फिल्म, डायलेक्ट्रिक लेयर फिल्म, IMD फिल्म इत्यादींचा लेप लावता येतो. ते प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर उद्योगात वापरले जाते, जसे की पॉवर डिव्हाइसेस, सेमीकंडक्टर रीअर पॅकेजिंग सब्सट्रेट कोटिंग इ.