1. Пристрасноста на работното парче е ниска
Поради додавањето на уред за зголемување на стапката на јонизација, густината на струјата на празнење се зголемува, а напонот на пристрасност се намалува на 0,5~1kV.
Задното прскање предизвикано од прекумерно бомбардирање со јони со висока енергија и ефектот на оштетување на површината на работниот дел се намалуваат.
2. Зголемена густина на плазмата
Додадени се различни мерки за поттикнување на јонизација со судир, а стапката на јонизација на металот се зголеми од 3% на повеќе од 15%. Густината на јоните на chin и неутралните атоми со висока енергија, азотните јони, активните атоми со висока енергија и активните групи во комората за обложување е зголемена, што е погодно за реакција за формирање соединенија. Горенаведените различни технологии за обложување со подобрено светлосно празнење на јони овозможија добивање на слоеви од тврд филм од TN со реакционо таложење при повисоки густини на плазма, но бидејќи тие припаѓаат на типот на светлосно празнење, густината на струјата на празнење не е доволно висока (сè уште ниво на mA/cm2), а вкупната густина на плазмата не е доволно висока, а процесот на реакционо таложење на обложување со соединение е тежок.
3. Опсегот на обложување на изворот на точкеста испарување е мал
Различни технологии за подобрено јонско обложување користат извори на испарување со електронски сноп и ганту како точкест извор на испарување, кој е ограничен на одреден интервал над ганту за реактивно таложење, така што продуктивноста е ниска, процесот е тежок и тешко се индустријализира.
4. Работа со електронски пиштол под висок притисок
Напонот на електронскиот пиштол е 6~30kV, а напонот на пристрасност на работното парче е 0,5~3kV, што припаѓа на работа со висок напон и има одредени безбедносни ризици.
——Оваа статија е објавена од Гуангдонг Женхуа Технолоџи, апроизводител на машини за оптички премази.
Време на објавување: 12 мај 2023 година