1. La polarizzazione del pezzo è bassa
Grazie all'aggiunta di un dispositivo che aumenta la velocità di ionizzazione, la densità della corrente di scarica aumenta e la tensione di polarizzazione viene ridotta a 0,5~1 kV.
Si riducono il backsputtering causato dal bombardamento eccessivo di ioni ad alta energia e i danni alla superficie del pezzo.
2. Aumento della densità plasmatica
Sono state aggiunte diverse misure per promuovere la ionizzazione per collisione e il tasso di ionizzazione dei metalli è aumentato dal 3% a oltre il 15%. La densità di ioni chin e atomi neutri ad alta energia, ioni azoto, atomi attivi ad alta energia e gruppi attivi nella camera di rivestimento è aumentata, il che favorisce la reazione per la formazione di composti. Le varie tecnologie di rivestimento ionico a scarica luminescente potenziata sopra menzionate sono state in grado di ottenere strati di film duri TN mediante deposizione per reazione a densità di plasma più elevate, ma poiché appartengono al tipo a scarica luminescente, la densità di corrente di scarica non è sufficientemente elevata (ancora a livello di mA/cm²) e la densità complessiva del plasma non è sufficientemente elevata, rendendo il processo di rivestimento dei composti per deposizione per reazione difficoltoso.
3. L'intervallo di rivestimento della sorgente di evaporazione puntuale è piccolo
Diverse tecnologie di rivestimento ionico avanzato utilizzano sorgenti di evaporazione a fascio di elettroni e gantu come sorgente di evaporazione puntuale, che è limitata a un certo intervallo al di sopra di gantu per la deposizione di reazione, quindi la produttività è bassa, il processo è difficile e difficile da industrializzare.
4. Funzionamento ad alta pressione della pistola elettronica
La tensione del cannone elettronico è di 6~30 kV e la tensione di polarizzazione del pezzo in lavorazione è di 0,5~3 kV, che rientrano nel funzionamento ad alta tensione e presentano alcuni rischi per la sicurezza.
——Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua Technology, unproduttore di macchine per rivestimenti ottici.
Data di pubblicazione: 12 maggio 2023