यह उपकरण इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण तकनीक का उपयोग करता है। कैथोड फिलामेंट से इलेक्ट्रॉन उत्सर्जित होते हैं और एक निश्चित बीम धारा में केंद्रित होते हैं, जो कैथोड और क्रूसिबल के बीच विभव द्वारा त्वरित होकर कोटिंग सामग्री को पिघलाकर वाष्पीकृत कर देती है। इसमें उच्च ऊर्जा घनत्व की विशेषता है और यह 3000 ℃ से अधिक गलनांक वाली कोटिंग सामग्री को वाष्पीकृत कर सकता है। इस प्रकार बनी फिल्म उच्च शुद्धता और उच्च तापीय दक्षता वाली होती है।
इस उपकरण में इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण स्रोत, आयन स्रोत, फिल्म मोटाई निगरानी प्रणाली, फिल्म मोटाई सुधार संरचना और स्थिर अम्ब्रेला वर्कपीस रोटेशन प्रणाली लगी हुई है। आयन स्रोत की सहायता से कोटिंग करने पर फिल्म की सघनता बढ़ती है, अपवर्तनांक स्थिर होता है और नमी के कारण तरंगदैर्ध्य परिवर्तन की समस्या से बचा जा सकता है। पूरी तरह से स्वचालित फिल्म मोटाई की वास्तविक समय निगरानी प्रणाली प्रक्रिया की पुनरावृत्ति और स्थिरता सुनिश्चित करती है। इसमें ऑपरेटर के कौशल पर निर्भरता कम करने के लिए स्वतः पिघलने की सुविधा भी दी गई है।
यह उपकरण विभिन्न ऑक्साइड और धातु कोटिंग सामग्रियों के लिए उपयुक्त है, और इस पर बहु-परत सटीक ऑप्टिकल फिल्मों जैसे कि एआर फिल्म, लॉन्ग वेव पास, शॉर्ट वेव पास, ब्राइटनिंग फिल्म, एएस/एएफ फिल्म, आईआरसीयूटी, कलर फिल्म सिस्टम, ग्रेडिएंट फिल्म सिस्टम आदि की कोटिंग की जा सकती है। इसका व्यापक रूप से एआर चश्मे, ऑप्टिकल लेंस, कैमरे, फिल्टर, सेमीकंडक्टर उद्योगों आदि में उपयोग किया जाता है।