1. A polarización da peza de traballo é baixa
Debido á adición dun dispositivo para aumentar a taxa de ionización, a densidade de corrente de descarga aumenta e a tensión de polarización redúcese a 0,5 ~ 1 kV.
Redúcese a pulverización inversa causada polo bombardeo excesivo de ións de alta enerxía e o efecto de danos na superficie da peza.
2. Aumento da densidade plasmática
Engadíronse varias medidas para promover a ionización por colisión e a taxa de ionización dos metais aumentou do 3 % a máis do 15 %. Aumenta a densidade de ións de queixo e átomos neutros de alta enerxía, ións de nitróxeno, átomos activos de alta enerxía e grupos activos na cámara de revestimento, o que favorece a reacción para formar compostos. As diversas tecnoloxías de revestimento de ións de descarga luminescente melloradas mencionadas anteriormente puideron obter capas de película dura TN mediante deposición por reacción a densidades de plasma máis altas, pero debido a que pertencen ao tipo de descarga luminescente, a densidade de corrente de descarga non é o suficientemente alta (aínda nivel de mA/cm2) e a densidade global do plasma non é o suficientemente alta, polo que o proceso de revestimento do composto por deposición por reacción é difícil.
3. O rango de revestimento da fonte de evaporación puntual é pequeno
Varias tecnoloxías de revestimento iónico melloradas usan fontes de evaporación por feixe de electróns e Gantu como fonte de evaporación puntual, que está limitada a un certo intervalo por riba de Gantu para a deposición por reacción, polo que a produtividade é baixa, o proceso é difícil e é difícil de industrializar.
4. Funcionamento de alta presión da pistola electrónica
A tensión do canón de electróns é de 6 ~ 30 kV e a tensión de polarización da peza é de 0,5 ~ 3 kV, o que pertence ao funcionamento de alta tensión e ten certos riscos de seguridade.
——Este artigo foi publicado por Guangdong Zhenhua Technology, unha empresafabricante de máquinas de revestimento óptico.
Data de publicación: 12 de maio de 2023