GX600

O equipo adopta unha estrutura de porta frontal vertical e un deseño en clúster. Pode equiparse con fontes de evaporación para metais e diversos materiais orgánicos, e pode evaporar obleas de silicio de diversas especificacións. Equipado cun sistema de aliñamento de precisión, o revestimento é estable e ten boa repetibilidade.
O equipo de revestimento GX600 pode evaporar de forma precisa, uniforme e controlada materiais orgánicos emisores de luz ou materiais metálicos sobre o substrato. Ten as vantaxes dunha formación de película sinxela, alta pureza e alta compacidade. O sistema de monitorización en tempo real do grosor da película totalmente automático pode garantir a repetibilidade e a estabilidade do proceso. Está equipado cunha función de autofusión para reducir a dependencia das habilidades do operador.
O equipo pódese aplicar a Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti e outros materiais metálicos, e pódese revestir con película metálica, película de capa dieléctrica, película IMD, etc. Úsase principalmente na industria dos semicondutores, como dispositivos de alimentación, revestimento de substratos de envasado traseiro de semicondutores, etc.