Cet équipement utilise la technologie d'évaporation par faisceau d'électrons. Les électrons, émis par le filament cathodique, sont focalisés en un courant de faisceau précis, puis accélérés par le potentiel entre la cathode et le creuset pour fondre et vaporiser le matériau de revêtement. Ce procédé se caractérise par une densité d'énergie élevée et permet de vaporiser des matériaux de revêtement dont le point de fusion dépasse 3 000 °C. Le film obtenu présente une pureté et un rendement thermique élevés.
L'équipement comprend une source d'évaporation par faisceau d'électrons, une source d'ions, un système de contrôle de l'épaisseur du film, un dispositif de correction d'épaisseur et un système de rotation stable de la pièce à usiner. Le revêtement assisté par source d'ions permet d'accroître la compacité du film, de stabiliser son indice de réfraction et d'éviter les variations de longueur d'onde dues à l'humidité. Le système de contrôle automatique en temps réel de l'épaisseur du film garantit la répétabilité et la stabilité du procédé. Doté d'une fonction d'autofusion, il réduit la dépendance à l'opérateur.
Cet équipement est applicable à divers oxydes et matériaux de revêtement métallique, et peut être revêtu de films optiques de précision multicouches, tels que des films antireflets, passe-longueur d'onde, passe-courte d'onde, des films éclaircissants, des films AS/AF, IRCUT, des systèmes de films couleur, des systèmes de films à dégradé, etc. Il est largement utilisé dans les lunettes antireflets, les lentilles optiques, les appareils photo, les filtres, l'industrie des semi-conducteurs, etc.