GX600

L'équipement adopte une structure de porte avant verticale et une disposition en grappe. Il peut être équipé de sources d'évaporation pour métaux et divers matériaux organiques, et peut évaporer des plaquettes de silicium de diverses spécifications. Doté d'un système d'alignement de précision, le revêtement est stable et offre une bonne répétabilité.
L'équipement de revêtement GX600 permet l'évaporation précise, uniforme et contrôlée de matériaux organiques électroluminescents ou de matériaux métalliques sur le substrat. Il présente les avantages d'une formation de film simple, d'une grande pureté et d'une grande compacité. Le système de surveillance en temps réel et entièrement automatique de l'épaisseur du film garantit la répétabilité et la stabilité du processus. Il est équipé d'une fonction d'auto-fusion pour réduire la dépendance aux compétences de l'opérateur.
L'équipement peut être appliqué au Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti et à d'autres matériaux métalliques, et peut être recouvert d'un film métallique, d'un film de couche diélectrique, d'un film IMD, etc. Il est principalement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs, tels que les dispositifs de puissance, le revêtement de substrat d'emballage arrière de semi-conducteurs, etc.