GX600

El equipo adopta una estructura de puerta frontal vertical y un diseño de clúster. Puede equiparse con fuentes de evaporación para metales y diversos materiales orgánicos, y puede evaporar obleas de silicio de diversas especificaciones. Equipado con un sistema de alineación de precisión, el recubrimiento es estable y ofrece una buena repetibilidad.
El equipo de recubrimiento GX600 puede evaporar materiales orgánicos emisores de luz o materiales metálicos sobre el sustrato de forma precisa, uniforme y controlada. Ofrece las ventajas de una formación de película sencilla, alta pureza y alta compacidad. El sistema totalmente automático de monitoreo del espesor de película en tiempo real garantiza la repetibilidad y estabilidad del proceso. Cuenta con una función de autofusión para reducir la dependencia de la habilidad del operador.
El equipo se puede aplicar a Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti y otros materiales metálicos, y se puede recubrir con película metálica, película de capa dieléctrica, película IMD, etc. Se utiliza principalmente en la industria de semiconductores, como dispositivos de potencia, recubrimiento de sustrato de empaquetado trasero de semiconductores, etc.