এই যন্ত্রটি ইলেকট্রন বিম ইভাপোরেশন প্রযুক্তি ব্যবহার করে। ক্যাথোড ফিলামেন্ট থেকে ইলেকট্রন নির্গত হয়ে একটি নির্দিষ্ট বিম কারেন্টে কেন্দ্রীভূত হয়, যা ক্যাথোড ও ক্রুসিবলের মধ্যকার বিভবের দ্বারা ত্বরান্বিত হয়ে কোটিং উপাদানকে গলিয়ে ও বাষ্পীভূত করে। এর উচ্চ শক্তি ঘনত্বের বৈশিষ্ট্য রয়েছে এবং এটি ৩০০০ ℃-এর বেশি গলনাঙ্কের কোটিং উপাদানকে বাষ্পীভূত করতে পারে। এই ফিল্মের বিশুদ্ধতা ও তাপীয় দক্ষতা উচ্চ।
এই যন্ত্রটিতে ইলেকট্রন বিম ইভাপোরেশন সোর্স, আয়ন সোর্স, ফিল্মের পুরুত্ব পর্যবেক্ষণ ব্যবস্থা, ফিল্মের পুরুত্ব সংশোধন কাঠামো এবং স্থিতিশীল আমব্রেলা ওয়ার্কপিস ঘূর্ণন ব্যবস্থা রয়েছে। আয়ন সোর্সের সাহায্যে কোটিং করার মাধ্যমে ফিল্মের দৃঢ়তা বৃদ্ধি পায়, প্রতিসরাঙ্ক স্থিতিশীল হয় এবং আর্দ্রতার কারণে তরঙ্গদৈর্ঘ্যের স্থানান্তরের ঘটনা এড়ানো যায়। সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় ফিল্মের পুরুত্ব রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ ব্যবস্থাটি এই প্রক্রিয়ার পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে পারে। অপারেটরের দক্ষতার উপর নির্ভরতা কমাতে এতে সেলফ মেল্টিং ফাংশন যুক্ত করা হয়েছে।
এই সরঞ্জামটি বিভিন্ন অক্সাইড এবং ধাতব আবরণী উপাদানের ক্ষেত্রে প্রযোজ্য এবং এতে বহুস্তরীয় সূক্ষ্ম অপটিক্যাল ফিল্মের প্রলেপ দেওয়া যায়, যেমন—এআর ফিল্ম, লং ওয়েভ পাস, শর্ট ওয়েভ পাস, ব্রাইটনিং ফিল্ম, এএস/এএফ ফিল্ম, আইআরকাট, কালার ফিল্ম সিস্টেম, গ্রেডিয়েন্ট ফিল্ম সিস্টেম ইত্যাদি। এটি এআর গ্লাস, অপটিক্যাল লেন্স, ক্যামেরা, ফিল্টার, সেমিকন্ডাক্টর শিল্প ইত্যাদিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়ে আসছে।