সরঞ্জামটি উল্লম্ব সামনের দরজার কাঠামো এবং ক্লাস্টার লেআউট গ্রহণ করে। এটি ধাতু এবং বিভিন্ন জৈব পদার্থের জন্য বাষ্পীভবন উৎস দিয়ে সজ্জিত করা যেতে পারে এবং বিভিন্ন নির্দিষ্টকরণের সিলিকন ওয়েফারগুলিকে বাষ্পীভূত করতে পারে। নির্ভুল সারিবদ্ধকরণ ব্যবস্থা দিয়ে সজ্জিত, আবরণটি স্থিতিশীল এবং আবরণটির পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ভাল।
GX600 আবরণ সরঞ্জাম নির্ভুলভাবে, সমানভাবে এবং নিয়ন্ত্রিতভাবে জৈব আলো-নির্গমনকারী উপকরণ বা ধাতব পদার্থগুলিকে সাবস্ট্রেটে বাষ্পীভূত করতে পারে। এর সুবিধা হল সহজ ফিল্ম গঠন, উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং উচ্চ কম্প্যাক্টনেস। পূর্ণ-স্বয়ংক্রিয় ফিল্ম পুরুত্ব রিয়েল-টাইম মনিটরিং সিস্টেম প্রক্রিয়াটির পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে পারে। অপারেটরের দক্ষতার উপর নির্ভরতা কমাতে এটি স্ব-গলন ফাংশন দিয়ে সজ্জিত।
সরঞ্জামগুলি Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti এবং অন্যান্য ধাতব উপকরণগুলিতে প্রয়োগ করা যেতে পারে এবং ধাতব ফিল্ম, ডাইইলেক্ট্রিক লেয়ার ফিল্ম, IMD ফিল্ম ইত্যাদি দিয়ে প্রলেপ দেওয়া যেতে পারে। এটি মূলত অর্ধপরিবাহী শিল্পে ব্যবহৃত হয়, যেমন পাওয়ার ডিভাইস, অর্ধপরিবাহী রিয়ার প্যাকেজিং সাবস্ট্রেট আবরণ ইত্যাদি।
| GX600 সম্পর্কে | জিএক্স৯০০ |
| φ600*800(মিমি) | φ৯০০*এইচ১০৫০(মিমি) |