GX600

Оборудването е с вертикална предна врата и клъстерно разположение. Може да бъде оборудвано с източници на изпарение за метали и различни органични материали, както и да изпарява силициеви пластини с различни спецификации. Оборудвано с прецизна система за подравняване, покритието е стабилно и има добра повторяемост.
Оборудването за нанасяне на покрития GX600 може точно, равномерно и контролируемо да изпарява органични светоизлъчващи материали или метални материали върху основата. То има предимствата на лесно образуване на филм, висока чистота и висока компактност. Напълно автоматичната система за наблюдение на дебелината на филма в реално време може да осигури повторяемост и стабилност на процеса. Оборудвано е с функция за самотопене, за да се намали зависимостта от уменията на оператора.
Оборудването може да се прилага върху Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti и други метални материали и може да бъде покрито с метално фолио, диелектрично фолио, IMD фолио и др. Използва се главно в полупроводниковата индустрия, като например силови устройства, покритие на задната опаковка на полупроводникови подложки и др.