Avadanlıq elektron şüa buxarlanma texnologiyasını tətbiq edir. Elektronlar katod filamentindən yayılır və müəyyən bir şüa cərəyanına yönəldilir ki, bu da katod və çuxur arasındakı potensialla sürətlənir və örtük materialını əridir və buxarlandırır. Yüksək enerji sıxlığı xüsusiyyətlərinə malikdir və 3000 ℃-dən çox ərimə nöqtəsi ilə örtük materialını buxarlandıra bilər. Film yüksək təmizliyə və yüksək istilik səmərəliliyinə malikdir.
Avadanlıq elektron şüa buxarlanma mənbəyi, ion mənbəyi, film qalınlığının monitorinq sistemi, film qalınlığının korreksiyası strukturu və sabit çətir iş parçasının fırlanma sistemi ilə təchiz olunub. İon mənbəyi ilə dəstəklənən örtük vasitəsilə filmin kompaktlığı artır, refraktiv indeks sabitləşdirilir və nəmlik səbəbindən dalğa uzunluğunun dəyişməsi fenomeninin qarşısı alınır. Tam avtomatik film qalınlığının real vaxt monitorinq sistemi prosesin təkrarlanmasını və sabitliyini təmin edə bilər. Operatorun bacarıqlarından asılılığı azaltmaq üçün özünü ərimə funksiyası ilə təchiz olunub.
Avadanlıq müxtəlif oksidlərə və metal örtük materiallarına tətbiq olunur və AR filmi, uzun dalğa keçidi, qısa dalğa keçidi, parlaqlaşdırıcı film, AS / AF filmi, IRCUT, rəngli film sistemi, qradiyent film sistemi və s. kimi çoxqatlı dəqiq optik filmlərlə örtülə bilər. AR eynəklərində, optik linzalarda, kameralarda, optik linzalarda, filtrlərdə, yarımkeçirici sənayesində və s. geniş istifadə edilmişdir.