GX600

Avadanlıq ön qapının şaquli quruluşunu və klasterin tərtibatını qəbul edir. O, metallar və müxtəlif üzvi materiallar üçün buxarlanma mənbələri ilə təchiz oluna bilər və müxtəlif spesifikasiyalara malik silikon vafliləri buxarlandıra bilər. Dəqiq hizalama sistemi ilə təchiz edilmiş örtük sabitdir və örtük yaxşı təkrarlanma qabiliyyətinə malikdir.
GX600 örtük avadanlığı üzvi işıq yayan materialları və ya metal materialları dəqiq, bərabər və idarə oluna bilən şəkildə substratın üzərinə buxarlaya bilər. O, sadə plyonka əmələ gəlməsi, yüksək təmizlik və yüksək yığcamlıq üstünlüklərinə malikdir. Tam avtomatik film qalınlığının real vaxt monitorinq sistemi prosesin təkrarlanmasını və sabitliyini təmin edə bilər. O, operatorun bacarıqlarından asılılığı azaltmaq üçün özünü əritmə funksiyası ilə təchiz edilmişdir.
Avadanlıq Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti və digər metal materiallara tətbiq oluna bilər və metal film, dielektrik təbəqə filmi, IMD filmi və s. ilə örtülə bilər, əsasən yarımkeçirici sənayedə, məsələn, enerji cihazları, yarımkeçirici arxa qablaşdırma substratı örtüyü və s.