تعتمد هذه الآلة تقنية التبخير بشعاع الإلكترون. تُطلق الإلكترونات من سلك الكاثود وتُركز في تيار شعاعي محدد، ثم يُسرّع هذا التيار بفعل فرق الجهد بين الكاثود والبوتقة، مما يؤدي إلى صهر وتبخير مادة الطلاء. تتميز هذه الآلة بكثافة طاقة عالية، حيث يمكنها تبخير مادة طلاء ذات درجة انصهار تتجاوز 3000 درجة مئوية. يتميز الفيلم الناتج بنقاوة عالية وكفاءة حرارية عالية.
الجهاز مزود بمصدر تبخير شعاع إلكتروني، ومصدر أيوني، ونظام مراقبة سُمك الطبقة، وهيكل تصحيح سُمك الطبقة، ونظام دوران ثابت لقطعة العمل. من خلال الطلاء المدعوم بالمصدر الأيوني، تزداد كثافة الطبقة، ويستقر معامل الانكسار، ويتم تجنب ظاهرة انزياح الطول الموجي الناتج عن الرطوبة. يضمن نظام المراقبة الآلي الكامل لسُمك الطبقة في الوقت الفعلي تكرار العملية واستقرارها. وهو مزود بوظيفة الصهر الذاتي لتقليل الاعتماد على مهارة المشغل.
يُمكن استخدام هذا الجهاز مع مختلف أنواع الأكاسيد ومواد الطلاء المعدنية، كما يُمكن طلاؤه بأغشية بصرية دقيقة متعددة الطبقات، مثل أغشية AR، وأغشية تمرير الموجات الطويلة، وأغشية تمرير الموجات القصيرة، وأغشية التفتيح، وأغشية AS/AF، وIRCUT، وأنظمة الأغشية الملونة، وأنظمة الأغشية المتدرجة، وغيرها. وقد استُخدم على نطاق واسع في نظارات AR، والعدسات البصرية، والكاميرات، والمرشحات، وصناعات أشباه الموصلات، وغيرها.