يعتمد الجهاز على هيكل باب أمامي عمودي وتصميم مجموعة. يمكن تجهيزه بمصادر تبخير للمعادن والمواد العضوية المختلفة، ويمكنه تبخير رقائق السيليكون بمواصفات مختلفة. مزود بنظام محاذاة دقيق، مما يضمن ثبات الطلاء وتكراريته.
تتميز معدات طلاء GX600 بقدرتها على تبخير المواد العضوية الباعثة للضوء أو المواد المعدنية بدقة وتوازن وتحكم على الركيزة. وتتميز بسهولة تكوين الأغشية، ونقاءها العالي، وكثافتها العالية. كما يضمن نظام مراقبة سماكة الأغشية الأوتوماتيكي بالكامل في الوقت الفعلي تكرار العملية واستقرارها. كما أنها مزودة بخاصية الذوبان الذاتي لتقليل الاعتماد على مهارات المشغل.
يمكن تطبيق المعدات على Cu و Al و Co و Cr و Au و Ag و Ni و Ti وغيرها من المواد المعدنية، ويمكن طلائها بغشاء معدني وفيلم طبقة عازلة وفيلم IMD وما إلى ذلك. يتم استخدامها بشكل أساسي في صناعة أشباه الموصلات، مثل أجهزة الطاقة وطلاء الركيزة الخلفية للتغليف لأشباه الموصلات وما إلى ذلك.
| جي اكس 600 | جي اكس 900 |
| φ600*800(مم) | φ900*H1050(مم) |