די עקוויפּמענט נעמט אן ווערטיקאַלע פראָנט טיר סטרוקטור און קלאַסטער אויסלייג. עס קען זיין יקוויפּט מיט פארדאַמפּונג קוועלער פֿאַר מעטאַלן און פֿאַרשידענע אָרגאַנישע מאַטעריאַלן, און קען פארדאַמפּן סיליקאָן וועיפערס פון פֿאַרשידענע ספּעציפֿיקאַציעס. יקוויפּט מיט אַ פּרעציזיע אַליינמאַנט סיסטעם, איז די קאָוטינג סטאַביל און די קאָוטינג האט גוטע ריפּיטאַביליטי.
GX600 קאָוטינג עקוויפּמענט קען גענוי, גלייך און קאָנטראָלירבאר פארדאַמפּפן אָרגאַנישע ליכט-עמיטירנדיקע מאַטעריאַלן אָדער מעטאַל מאַטעריאַלן אויף דעם סאַבסטראַט. עס האט די מעלות פון פּשוט פילם פאָרמירונג, הויך ריינקייט און הויך קאָמפּאַקטנאַס. די פול-אָטאָמאַטיש פילם גרעב רעאַל-צייט מאָניטאָרינג סיסטעם קען ענשור די ריפּיטאַביליטי און פעסטקייט פון דעם פּראָצעס. עס איז יקוויפּט מיט זיך-שמעלץ פונקציע צו רעדוצירן די אָפענגיקייט אויף די אָפּעראַטאָר ס סקילז.
די עקוויפּמענט קען ווערן געווענדט צו קופּער, אַל, קאָ, קר, אַו, אַג, ני, טי און אַנדערע מעטאַל מאַטעריאַלן, און קען ווערן באדעקט מיט מעטאַל פילם, דיעלעקטריש שיכט פילם, IMD פילם, אאז"ו ו. עס ווערט דער הויפּט גענוצט אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, אַזאַ ווי מאַכט דעוויסעס, האַלב-קאָנדוקטאָר הינטער פּאַקקאַגינג סאַבסטראַט קאָוטינג, אאז"ו ו.
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(מם) | φ900*H1050(מם) |