GX600

Обладнання має вертикальну структуру передніх дверей та кластерне розташування. Воно може бути оснащене джерелами випаровування для металів та різних органічних матеріалів, а також може випаровувати кремнієві пластини різних характеристик. Оснащене системою точного вирівнювання, покриття є стабільним та має хорошу повторюваність.
Обладнання для нанесення покриттів GX600 може точно, рівномірно та контрольовано випаровувати органічні світловипромінюючі матеріали або металеві матеріали на підкладку. Воно має переваги простого формування плівки, високої чистоти та високої компактності. Повністю автоматична система моніторингу товщини плівки в режимі реального часу може забезпечити повторюваність та стабільність процесу. Воно оснащене функцією самоплавлення, щоб зменшити залежність від навичок оператора.
Обладнання може бути застосоване до Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti та інших металевих матеріалів, а також може бути покрите металевою плівкою, діелектричним шаром плівки, плівкою IMD тощо. Воно в основному використовується в напівпровідниковій промисловості, такій як силові пристрої, покриття підкладок задньої упаковки напівпровідників тощо.