1. İş parçasının sapması düşüktür
İyonizasyon oranını arttıran bir cihazın eklenmesiyle deşarj akım yoğunluğu arttırılır ve önyargı gerilimi 0,5~1kV'a düşürülür.
Yüksek enerjili iyonların aşırı bombardımanı sonucu oluşan geri püskürtme ve iş parçası yüzeyinde oluşan hasar etkisi azaltılır.
2. Artan plazma yoğunluğu
Çarpışma iyonlaşmasını teşvik etmek için çeşitli önlemler eklendi ve metal iyonlaşma oranı %3'ten %15'in üzerine çıktı. Kaplama odasındaki çene iyonlarının ve yüksek enerjili nötr atomların, azot iyonlarının, yüksek enerjili aktif atomların ve aktif grupların yoğunluğu arttırılır ve bu da bileşiklerin oluşması için reaksiyona elverişlidir. Yukarıdaki çeşitli geliştirilmiş kızdırma deşarj iyon kaplama teknolojileri, daha yüksek plazma yoğunluklarında reaksiyon biriktirme yoluyla TN sert film katmanları elde edebildi, ancak kızdırma deşarj tipine ait oldukları için deşarj akımı yoğunluğu yeterince yüksek değil (hala mA/cm2 seviyesi) ve genel plazma yoğunluğu yeterince yüksek değil ve reaksiyon biriktirme bileşik kaplama süreci zor.
3. Nokta buharlaşma kaynağının kaplama aralığı küçüktür
Çeşitli geliştirilmiş iyon kaplama teknolojileri, elektron demeti buharlaştırma kaynaklarını ve gantu'yu nokta buharlaştırma kaynağı olarak kullanır, reaksiyon birikimi için gantu'nun üzerinde belirli bir aralıkla sınırlıdır, bu nedenle verimlilik düşüktür, işlem zordur ve endüstriyelleştirilmesi zordur.
4. Elektronik tabanca yüksek basınç çalışması
Elektron tabancası voltajı 6~30kV, iş parçası önyargı voltajı ise 0,5~3kV olup yüksek voltajlı çalışmaya ait olup belirli güvenlik tehlikeleri taşımaktadır.
——Bu makale Guangdong Zhenhua Technology tarafından yayınlanmıştır.optik kaplama makineleri üreticisi.
Yayınlanma zamanı: 12-Mayıs-2023