Mga karaniwang tampok ng pinahusay na glow discharge ion coating technology

1. Ang bias ng workpiece ay mababa

Dahil sa pagdaragdag ng isang aparato upang mapataas ang rate ng ionization, ang discharge current density ay tumataas, at ang bias na boltahe ay nabawasan sa 0.5~1kV.

Ang backsputtering na dulot ng labis na pambobomba ng mga high-energy ions at ang epekto ng pinsala sa ibabaw ng workpiece ay nababawasan.

2. Tumaas na plasma density

Iba't ibang mga hakbang upang isulong ang banggaan ionization ay idinagdag, at ang metal ionization rate ay tumaas mula sa 3% sa higit sa 15%. Ang density ng chin ions at high-energy neutral atoms, nitrogen ions, high-energy active atoms at aktibong grupo sa coating chamber ay nadagdagan, na nakakatulong sa reaksyon upang bumuo ng mga compound. Ang mga nasa itaas na iba't ibang mga pinahusay na teknolohiya ng glow discharge ion coating ay nakakuha ng TN hard film layer sa pamamagitan ng reaction deposition sa mas mataas na plasma density, ngunit dahil nabibilang sila sa glow discharge type, ang discharge current density ay hindi sapat na mataas (mA/cm2 level pa rin), at ang kabuuang plasma density ay hindi sapat na mataas, at ang proseso ng reaction deposition compound coating ay mahirap.

3. Ang saklaw ng patong ng pinagmumulan ng pagsingaw ng punto ay maliit

Ang iba't ibang mga pinahusay na teknolohiya ng patong ng ion ay gumagamit ng mga mapagkukunan ng pagsingaw ng electron beam, at ang gantu bilang isang mapagkukunan ng pagsingaw ng punto, na limitado sa isang tiyak na agwat sa itaas ng gantu para sa pagdeposito ng reaksyon, kaya ang pagiging produktibo ay mababa, ang proseso ay mahirap, at mahirap i-industriyalize.

4. Pagpapatakbo ng mataas na presyon ng elektronikong baril

Ang boltahe ng electron gun ay 6~30kV, at ang bias na boltahe ng workpiece ay 0.5~3kV, na kabilang sa high-voltage na operasyon at may ilang mga panganib sa kaligtasan.

——Ang artikulong ito ay inilabas ng Guangdong Zhenhua Technology, atagagawa ng optical coating machine.