GX600

Ang kagamitan ay gumagamit ng vertical na istraktura ng pintuan sa harap at layout ng kumpol. Maaari itong nilagyan ng mga mapagkukunan ng pagsingaw para sa mga metal at iba't ibang mga organikong materyales, at maaaring mag-evaporate ng mga silicon na wafer ng iba't ibang mga pagtutukoy. Nilagyan ng precision alignment system, ang coating ay stable at ang coating ay may magandang repeatability.
Ang kagamitan sa patong ng GX600 ay maaaring tumpak, pantay-pantay at makontrol na mag-evaporate ng mga organikong materyales na naglalabas ng liwanag o mga metal na materyales papunta sa substrate. Ito ay may mga pakinabang ng simpleng pagbuo ng pelikula, mataas na kadalisayan at mataas na compactness. Ang full-awtomatikong kapal ng pelikula real-time na sistema ng pagsubaybay ay maaaring matiyak ang repeatability at katatagan ng proseso. Ito ay nilagyan ng self melting function upang mabawasan ang pag-asa sa mga kasanayan ng operator.
Ang kagamitan ay maaaring ilapat sa Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti at iba pang mga metal na materyales, at maaaring pinahiran ng metal film, dielectric layer film, IMD film, atbp. Pangunahing ginagamit ito sa industriya ng semiconductor, tulad ng mga power device, semiconductor rear packaging substrate coating, atbp.