మెరుగైన గ్లో డిశ్చార్జ్ అయాన్ పూత సాంకేతికత యొక్క సాధారణ లక్షణాలు

1. వర్క్‌పీస్ బయాస్ తక్కువగా ఉంటుంది

అయనీకరణ రేటును పెంచడానికి ఒక పరికరాన్ని జోడించడం వలన, ఉత్సర్గ కరెంట్ సాంద్రత పెరుగుతుంది మరియు బయాస్ వోల్టేజ్ 0.5~1kVకి తగ్గించబడుతుంది.

అధిక శక్తి అయాన్ల అధిక బాంబు దాడి వలన కలిగే బ్యాక్‌స్పట్టరింగ్ మరియు వర్క్‌పీస్ ఉపరితలంపై నష్టం ప్రభావం తగ్గుతుంది.

2. ప్లాస్మా సాంద్రత పెరుగుదల

ఘర్షణ అయనీకరణను ప్రోత్సహించడానికి వివిధ చర్యలు జోడించబడ్డాయి మరియు లోహ అయనీకరణ రేటు 3% నుండి 15% కంటే ఎక్కువకు పెరిగింది. పూత గదిలో చిన్ అయాన్లు మరియు అధిక-శక్తి తటస్థ అణువులు, నైట్రోజన్ అయాన్లు, అధిక-శక్తి క్రియాశీల అణువులు మరియు క్రియాశీల సమూహాల సాంద్రత పెరిగింది, ఇది సమ్మేళనాలను ఏర్పరచడానికి ప్రతిచర్యకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. పైన పేర్కొన్న వివిధ మెరుగైన గ్లో డిశ్చార్జ్ అయాన్ పూత సాంకేతికతలు అధిక ప్లాస్మా సాంద్రతల వద్ద ప్రతిచర్య నిక్షేపణ ద్వారా TN హార్డ్ ఫిల్మ్ పొరలను పొందగలిగాయి, కానీ అవి గ్లో డిశ్చార్జ్ రకానికి చెందినవి కాబట్టి, ఉత్సర్గ ప్రస్తుత సాంద్రత తగినంత ఎక్కువగా లేదు (ఇప్పటికీ mA/cm2 స్థాయి), మరియు మొత్తం ప్లాస్మా సాంద్రత తగినంతగా లేదు మరియు ప్రతిచర్య నిక్షేపణ సమ్మేళనం పూత ప్రక్రియ కష్టం.

3. బిందువు బాష్పీభవన మూలం యొక్క పూత పరిధి చిన్నది

వివిధ మెరుగైన అయాన్ పూత సాంకేతికతలు ఎలక్ట్రాన్ పుంజం బాష్పీభవన వనరులను మరియు గాంటును పాయింట్ బాష్పీభవన మూలంగా ఉపయోగిస్తాయి, ఇది ప్రతిచర్య నిక్షేపణ కోసం గాంటు పైన ఒక నిర్దిష్ట విరామానికి పరిమితం చేయబడింది, కాబట్టి ఉత్పాదకత తక్కువగా ఉంటుంది, ప్రక్రియ కష్టం మరియు పారిశ్రామికీకరణ కష్టం.

4. ఎలక్ట్రానిక్ గన్ హై-ప్రెజర్ ఆపరేషన్

ఎలక్ట్రాన్ గన్ వోల్టేజ్ 6~30kV, మరియు వర్క్‌పీస్ బయాస్ వోల్టేజ్ 0.5~3kV, ఇది అధిక-వోల్టేజ్ ఆపరేషన్‌కు చెందినది మరియు కొన్ని భద్రతా ప్రమాదాలను కలిగి ఉంటుంది.

——ఈ వ్యాసం గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్హువా టెక్నాలజీ ద్వారా విడుదల చేయబడింది, aఆప్టికల్ కోటింగ్ యంత్రాల తయారీదారు.