ఈ పరికరాలు నిలువు ముందు తలుపు నిర్మాణం మరియు క్లస్టర్ లేఅవుట్ను అవలంబిస్తాయి. ఇది లోహాలు మరియు వివిధ సేంద్రీయ పదార్థాల కోసం బాష్పీభవన వనరులతో అమర్చబడి ఉంటుంది మరియు వివిధ స్పెసిఫికేషన్ల సిలికాన్ పొరలను ఆవిరి చేయగలదు. ఖచ్చితత్వ అమరిక వ్యవస్థతో అమర్చబడి, పూత స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు పూత మంచి పునరావృతతను కలిగి ఉంటుంది.
GX600 పూత పరికరాలు సేంద్రీయ కాంతి-ఉద్గార పదార్థాలను లేదా లోహ పదార్థాలను ఉపరితలంపై ఖచ్చితంగా, సమానంగా మరియు నియంత్రణలో ఆవిరి చేయగలవు. ఇది సాధారణ ఫిల్మ్ నిర్మాణం, అధిక స్వచ్ఛత మరియు అధిక కాంపాక్ట్నెస్ యొక్క ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది. పూర్తి-ఆటోమేటిక్ ఫిల్మ్ మందం నిజ-సమయ పర్యవేక్షణ వ్యవస్థ ప్రక్రియ యొక్క పునరావృతత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించగలదు. ఆపరేటర్ నైపుణ్యాలపై ఆధారపడటాన్ని తగ్గించడానికి ఇది స్వీయ ద్రవీభవన పనితీరును కలిగి ఉంటుంది.
ఈ పరికరాలను Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti మరియు ఇతర లోహ పదార్థాలకు అన్వయించవచ్చు మరియు మెటల్ ఫిల్మ్, డైఎలెక్ట్రిక్ లేయర్ ఫిల్మ్, IMD ఫిల్మ్ మొదలైన వాటితో పూత పూయవచ్చు. ఇది ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉపయోగించబడుతుంది, పవర్ పరికరాలు, సెమీకండక్టర్ వెనుక ప్యాకేజింగ్ సబ్స్ట్రేట్ కోటింగ్ మొదలైనవి.
| జిఎక్స్600 | జిఎక్స్ 900 |
| φ600*800(మి.మీ) | φ900*H1050(మిమీ) |