1. பணிப்பொருள் சார்பு குறைவாக உள்ளது
அயனியாக்க விகிதத்தை அதிகரிக்க ஒரு சாதனத்தைச் சேர்ப்பதன் காரணமாக, வெளியேற்ற மின்னோட்ட அடர்த்தி அதிகரிக்கிறது, மேலும் சார்பு மின்னழுத்தம் 0.5~1kV ஆகக் குறைக்கப்படுகிறது.
அதிக ஆற்றல் கொண்ட அயனிகளின் அதிகப்படியான குண்டுவீச்சினால் ஏற்படும் பின்னோக்கித் துளிர்த்தல் மற்றும் பணிப்பொருளின் மேற்பரப்பில் ஏற்படும் சேத விளைவு குறைக்கப்படுகிறது.
2. அதிகரித்த பிளாஸ்மா அடர்த்தி
மோதல் அயனியாக்கத்தை ஊக்குவிப்பதற்கான பல்வேறு நடவடிக்கைகள் சேர்க்கப்பட்டுள்ளன, மேலும் உலோக அயனியாக்கம் விகிதம் 3% இலிருந்து 15% க்கும் அதிகமாக அதிகரித்துள்ளது. பூச்சு அறையில் உள்ள சின் அயனிகள் மற்றும் உயர்-ஆற்றல் நடுநிலை அணுக்கள், நைட்ரஜன் அயனிகள், உயர்-ஆற்றல் செயலில் உள்ள அணுக்கள் மற்றும் செயலில் உள்ள குழுக்களின் அடர்த்தி அதிகரிக்கப்படுகிறது, இது சேர்மங்களை உருவாக்குவதற்கான எதிர்வினைக்கு உகந்ததாகும். மேலே உள்ள பல்வேறு மேம்படுத்தப்பட்ட பளபளப்பு வெளியேற்ற அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பங்கள் அதிக பிளாஸ்மா அடர்த்தியில் எதிர்வினை படிவு மூலம் TN கடின பட அடுக்குகளைப் பெற முடிந்தது, ஆனால் அவை பளபளப்பு வெளியேற்ற வகையைச் சேர்ந்தவை என்பதால், வெளியேற்ற மின்னோட்ட அடர்த்தி போதுமான அளவு அதிகமாக இல்லை (இன்னும் mA/cm2 நிலை), மற்றும் ஒட்டுமொத்த பிளாஸ்மா அடர்த்தி போதுமான அளவு அதிகமாக இல்லை, மேலும் எதிர்வினை படிவு கலவை பூச்சு செயல்முறை கடினமாக உள்ளது.
3. புள்ளி ஆவியாதல் மூலத்தின் பூச்சு வரம்பு சிறியது.
பல்வேறு மேம்படுத்தப்பட்ட அயனி பூச்சு தொழில்நுட்பங்கள் எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலங்களையும், கான்டுவை ஒரு புள்ளி ஆவியாதல் மூலமாகவும் பயன்படுத்துகின்றன, இது எதிர்வினை படிவுக்கு கான்டுவை விட ஒரு குறிப்பிட்ட இடைவெளிக்கு மட்டுமே வரையறுக்கப்பட்டுள்ளது, எனவே உற்பத்தித்திறன் குறைவாக உள்ளது, செயல்முறை கடினம், மேலும் அதை தொழில்மயமாக்குவது கடினம்.
4. மின்னணு துப்பாக்கி உயர் அழுத்த செயல்பாடு
எலக்ட்ரான் துப்பாக்கி மின்னழுத்தம் 6~30kV, மற்றும் பணிப்பகுதி சார்பு மின்னழுத்தம் 0.5~3kV ஆகும், இது உயர் மின்னழுத்த செயல்பாட்டிற்கு சொந்தமானது மற்றும் சில பாதுகாப்பு அபாயங்களைக் கொண்டுள்ளது.
——இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா டெக்னாலஜியால் வெளியிடப்பட்டது, ஒருஆப்டிகல் பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.
இடுகை நேரம்: மே-12-2023