1. Arbetsstyckets bias är låg
På grund av tillägget av en anordning för att öka joniseringshastigheten ökar urladdningsströmtätheten och förspänningen reduceras till 0,5~1 kV.
Baksputtringen som orsakas av överdriven bombardemang av högenergijoner och den skada som uppstår på arbetsstyckets yta minskas.
2. Ökad plasmadensitet
Olika åtgärder för att främja kollisionisering har tillkommit, och metalljoniseringshastigheten har ökat från 3 % till mer än 15 %. Tätheten av hakjoner och högenergineutrala atomer, kvävejoner, högenergiaktiva atomer och aktiva grupper i beläggningskammaren ökar, vilket bidrar till reaktionen för att bilda föreningar. Ovanstående olika förbättrade glimurladdningsjonbeläggningstekniker har kunnat erhålla TN-hårda filmskikt genom reaktionsdeponering vid högre plasmadensiteter, men eftersom de tillhör glimurladdningstypen är urladdningsströmtätheten inte tillräckligt hög (fortfarande mA/cm2-nivå), och den totala plasmatätheten är inte tillräckligt hög, och processen för reaktionsdeponering av föreningsbeläggning är svår.
3. Beläggningsområdet för punktförångningskällan är litet
Olika förbättrade jonbeläggningstekniker använder elektronstråleförångningskällor och gantu som punktförångningskälla, vilket är begränsat till ett visst intervall över gantu för reaktionsavsättning, så produktiviteten är låg, processen är svår och den är svår att industrialisera.
4. Elektronisk högtrycksdrift av pistolen
Elektronkanonens spänning är 6~30kV och arbetsstyckets förspänning är 0,5~3kV, vilket hör till högspänningsdrift och har vissa säkerhetsrisker.
——Denna artikel publicerades av Guangdong Zhenhua Technology, entillverkare av optiska beläggningsmaskiner.
Publiceringstid: 12 maj 2023