GX600

Utrustningen använder vertikal ytterdörrsstruktur och klusterlayout. Den kan utrustas med avdunstningskällor för metaller och olika organiska material, och kan avdunsta kiselskivor med olika specifikationer. Utrustad med precisionsjusteringssystem är beläggningen stabil och beläggningen har god repeterbarhet.
GX600-beläggningsutrustningen kan noggrant, jämnt och kontrollerbart avdunsta organiska ljusemitterande material eller metallmaterial på substratet. Den har fördelarna med enkel filmbildning, hög renhet och hög kompakthet. Det helautomatiska realtidsövervakningssystemet för filmtjocklek kan säkerställa processens repeterbarhet och stabilitet. Den är utrustad med självsmältande funktion för att minska beroendet av operatörens färdigheter.
Utrustningen kan appliceras på Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti och andra metallmaterial, och kan beläggas med metallfilm, dielektrisk lagerfilm, IMD-film, etc. Den används huvudsakligen inom halvledarindustrin, såsom kraftkomponenter, halvledarsubstratbeläggning för bakre förpackningar, etc.