1. Leeme la workpiece le tlaase
Ka lebaka la ho eketsoa ha sesebelisoa ho eketsa sekhahla sa ionization, sekhahla sa ho ntša metsi sea eketseha, 'me matla a leeme a fokotsehile ho 0.5 ~ 1kV.
Li-backsputtering tse bakoang ke ho phatloha ho feteletseng ha li-ion tse nang le matla a phahameng le phello ea tšenyo holim'a sebaka sa mosebetsi li fokotsehile.
2. Ho eketseha ha sekhahla sa plasma
Mehato e fapaneng ea ho khothaletsa ionization ea likhohlano e kentsoe, mme sekhahla sa ionization ea tšepe se eketsehile ho tloha ho 3% ho ea ho 15%. Boima ba li-ion tsa selelu le liathomo tse sa nke lehlakore tse nang le matla a phahameng, li-ion tsa naetrojene, liathomo tse sebetsang ka matla le lihlopha tse sebetsang ka kamoreng ea ho roala lia eketseha, e leng se loketseng karabelo ea ho theha metsoako. Litheknoloji tse kaholimo tse ntlafalitsoeng tsa "ion coating" li khonne ho fumana likarolo tsa filimi e thata ea TN ka ho ts'oaroa ha plasma e phahameng, empa hobane e le tsa mofuta oa khase, boholo ba hona joale ha bo phahame ka ho lekana (e ntse e le boemo ba mA/cm2), 'me boholo ba plasma ha bo phahame ka ho lekana, mme ts'ebetso ea ho kopanya e thata.
3. Letoto la ho roala la mohloli oa mouoane oa ntlha o monyenyane
Mekhoa e fapaneng e ntlafalitsoeng ea ho roala ion e sebelisa mehloli ea mouoane oa elektrone, 'me gantu e le mohloli oa mouoane oa ntlha, o lekanyelitsoeng ka nako e itseng ka holimo ho gantu bakeng sa deposition ea karabelo, kahoo tlhahiso e tlaase, ts'ebetso e thata,' me ho thata ho etsa indasteri.
4. Ts'ebetso ea elektroniki ea sethunya se phahameng sa khatello
Motlakase oa lithunya tsa elektronike ke 6 ~ 30kV, 'me motlakase oa leeme la workpiece ke 0.5 ~ 3kV, e leng ea ts'ebetso ea matla a phahameng le e nang le likotsi tse itseng tsa polokeho.
——Sengoliloeng sena se lokollotsoe ke Guangdong Zhenhua Technology, amoetsi oa mechine ea ho roala optical.
Nako ea poso: May-12-2023