Thepa e nka sebopeho sa monyako o otlolohileng oa pele le sebopeho sa lihlopha. E ka hlomelloa ka mehloli ea mouoane bakeng sa litšepe le lisebelisoa tse fapaneng tsa manyolo, 'me e ka etsa mouoane liphaephe tsa silicon tsa litlhaloso tse fapaneng. Ho hlomelloa ka mokhoa o nepahetseng oa ho lokisa, ho roala ho tsitsitse 'me ho roala ho na le ho pheta-pheta hantle.
Thepa ea ho roala ea GX600 e ka mofafatsa ka nepo, ka ho lekana le ka mokhoa o laolehang, lisebelisoa tse ntšang leseli kapa lisebelisoa tsa tšepe holim'a substrate. E na le melemo ea ho theha filimi e bonolo, bohloeki bo phahameng le ho kopana ho phahameng. Sistimi e felletseng ea botenya ba filimi ea nako ea nnete e ka netefatsa ho pheta-pheta le botsitso ba ts'ebetso. E na le ts'ebetso ea "self melting" ho fokotsa ho itšetleha ka bokhoni ba opareitara.
Thepa e ka sebelisoa ho Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti le lisebelisoa tse ling tsa tšepe, 'me e ka koaheloa ka filimi ea tšepe, filimi ea dielectric lera, filimi ea IMD, joalo-joalo e sebelisoa haholo indastering ea semiconductor, joalo ka lisebelisoa tsa matla, semiconductor ka morao ho paka substrate coating, joalo-joalo.
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |