1. Пристрасност радног предмета је мала
Због додавања уређаја за повећање брзине јонизације, густина струје пражњења се повећава, а напон преднапона се смањује на 0,5~1kV.
Смањује се повратно распршивање узроковано прекомерним бомбардовањем високоенергетских јона и ефекат оштећења на површини радног предмета.
2. Повећана густина плазме
Додате су разне мере за подстицање јонизације судара, а стопа јонизације метала повећана је са 3% на више од 15%. Густина јона брина и неутралних атома високе енергије, јона азота, активних атома високе енергије и активних група у комори за премазивање је повећана, што погодује реакцији формирања једињења. Горе наведене различите побољшане технологије јонског премазивања сијајућим пражњењем биле су у стању да добију слојеве тврдог филма TN реакционим таложењем при већим густинама плазме, али пошто припадају типу сијајућег пражњења, густина струје пражњења није довољно висока (још увек на нивоу mA/cm2), а укупна густина плазме није довољно висока, па је процес премазивања једињења реакционим таложењем тежак.
3. Домет премаза тачкастог извора испаравања је мали
Различите технологије побољшаног јонског премазивања користе изворе испаравања електронским снопом, а ганту као извор тачкастог испаравања, који је ограничен на одређени интервал изнад гантуа за реакционо таложење, тако да је продуктивност ниска, процес је тежак и тешко га је индустријализовати.
4. Рад електронског пиштоља под високим притиском
Напон електронског топа је 6~30kV, а напон преднапона радног предмета је 0,5~3kV, што припада раду на високом напону и носи одређене безбедносне ризике.
——Овај чланак је објавила компанија Guangdong Zhenhua Technology,произвођач машина за оптичко премазивање.
Време објаве: 12. мај 2023.