GX600

Опрема има вертикалну структуру предњих врата и распоред кластера. Може бити опремљена изворима испаравања за метале и разне органске материјале, и може испаравати силицијумске плочице различитих спецификација. Опремљена системом за прецизно поравнање, премаз је стабилан и премаз има добру поновљивост.
Опрема за премазивање GX600 може прецизно, равномерно и контролисано испарити органске материјале који емитују светлост или металне материјале на подлогу. Има предности једноставног формирања филма, високе чистоће и велике компактности. Потпуно аутоматски систем за праћење дебљине филма у реалном времену може осигурати поновљивост и стабилност процеса. Опремљена је функцијом самотопљења како би се смањила зависност од вештина оператера.
Опрема се може применити на Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti и друге металне материјале, и може се пресвући металним филмом, диелектричним слојем филма, IMD филмом итд. Углавном се користи у полупроводничкој индустрији, као што су уређаји за напајање, премазивање подлоге задњег паковања полупроводника итд.