GX600

Oprema ima vertikalno strukturo sprednjih vrat in razporeditev v gruče. Opremljena je lahko z viri izhlapevanja za kovine in različne organske materiale ter izhlapeva silicijeve rezine različnih specifikacij. Opremljena je s sistemom za natančno poravnavo, zaradi česar je prevleka stabilna in ima dobro ponovljivost.
Oprema za nanašanje premazov GX600 lahko natančno, enakomerno in nadzorovano napari organske materiale, ki oddajajo svetlobo, ali kovinske materiale na podlago. Prednosti so preprosto oblikovanje filma, visoka čistost in visoka kompaktnost. Popolnoma avtomatski sistem za spremljanje debeline filma v realnem času zagotavlja ponovljivost in stabilnost postopka. Opremljena je s funkcijo samodejnega taljenja, ki zmanjšuje odvisnost od spretnosti operaterja.
Oprema se lahko uporablja za Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti in druge kovinske materiale ter je lahko prevlečena s kovinsko folijo, dielektrično plastjo, IMD folijo itd. Uporablja se predvsem v polprevodniški industriji, kot so na primer napajalne naprave, premazi za podlago za polprevodniško zadnjo embalažo itd.