1. වැඩ කොටස් නැඹුරුව අඩුයි
අයනීකරණ අනුපාතය වැඩි කිරීම සඳහා උපකරණයක් එකතු කිරීම නිසා, විසර්ජන ධාරා ඝනත්වය වැඩි වන අතර, නැඹුරු වෝල්ටීයතාවය 0.5~1kV දක්වා අඩු වේ.
අධි ශක්ති අයන අධික ලෙස බෝම්බ හෙලීමෙන් ඇතිවන පසුපස ස්පටරින් සහ වැඩ කොටස මතුපිටට සිදුවන හානි බලපෑම අඩු වේ.
2. ප්ලාස්මා ඝනත්වය වැඩි වීම
ගැටුම් අයනීකරණය ප්රවර්ධනය කිරීම සඳහා විවිධ පියවර එකතු කර ඇති අතර, ලෝහ අයනීකරණ අනුපාතය 3% සිට 15% දක්වා වැඩි වී ඇත. ආලේපන කුටියේ නිකට අයන සහ අධි ශක්ති උදාසීන පරමාණු, නයිට්රජන් අයන, අධි ශක්ති ක්රියාකාරී පරමාණු සහ ක්රියාකාරී කණ්ඩායම්වල ඝනත්වය වැඩි වන අතර එය සංයෝග සෑදීමට ප්රතික්රියාවට හිතකර වේ. ඉහත විවිධ වැඩිදියුණු කළ දිලිසෙන විසර්ජන අයන ආලේපන තාක්ෂණයන් ඉහළ ප්ලාස්මා ඝනත්වයකින් ප්රතික්රියා තැන්පත් කිරීමෙන් TN දෘඩ පටල ස්ථර ලබා ගැනීමට සමත් වී ඇත, නමුත් ඒවා දිලිසෙන විසර්ජන වර්ගයට අයත් වන බැවින්, විසර්ජන ධාරා ඝනත්වය ප්රමාණවත් තරම් ඉහළ නැත (තවමත් mA/cm2 මට්ටම), සහ සමස්ත ප්ලාස්මා ඝනත්වය ප්රමාණවත් තරම් ඉහළ නොවන අතර, ප්රතික්රියා තැන්පත් කිරීමේ සංයෝග ආලේපන ක්රියාවලිය දුෂ්කර ය.
3. ලක්ෂ්ය වාෂ්පීකරණ ප්රභවයේ ආලේපන පරාසය කුඩා වේ.
විවිධ වැඩිදියුණු කළ අයන ආලේපන තාක්ෂණයන් ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණ ප්රභවයන් සහ ලක්ෂ්ය වාෂ්පීකරණ ප්රභවයක් ලෙස ගැන්ටු භාවිතා කරයි, එය ප්රතික්රියා තැන්පත් කිරීම සඳහා ගැන්ටුට වඩා යම් පරතරයකට සීමා වේ, එබැවින් ඵලදායිතාව අඩුය, ක්රියාවලිය දුෂ්කර වන අතර එය කාර්මිකකරණය කිරීම දුෂ්කර ය.
4. ඉලෙක්ට්රොනික තුවක්කු අධි පීඩන ක්රියාකාරිත්වය
ඉලෙක්ට්රෝන තුවක්කු වෝල්ටීයතාවය 6~30kV වන අතර, වැඩ කොටස් නැඹුරු වෝල්ටීයතාවය 0.5~3kV වන අතර, එය අධි වෝල්ටීයතා ක්රියාකාරිත්වයට අයත් වන අතර ඇතැම් ආරක්ෂිත උපද්රව ඇත.
——මෙම ලිපිය නිකුත් කරන ලද්දේ ගුවැන්ඩොං ෂෙන්හුවා ටෙක්නොලොජි විසිනි, ඒදෘශ්ය ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයා.
පළ කිරීමේ කාලය: මැයි-12-2023