නිෂ්පාදනය විස්තරය
උපකරණ සිරස් ඉදිරිපස දොර ව්යුහය සහ පොකුරු පිරිසැලසුම අනුගමනය කරයි. එය ලෝහ සහ විවිධ කාබනික ද්රව්ය සඳහා වාෂ්පීකරණ ප්රභවයන්ගෙන් සමන්විත විය හැකි අතර විවිධ පිරිවිතරයන්ගෙන් යුත් සිලිකන් වේෆර් වාෂ්ප කළ හැකිය. නිරවද්ය පෙළගැස්වීමේ පද්ධතියකින් සමන්විත වන අතර, ආලේපනය ස්ථායී වන අතර ආලේපනය හොඳ පුනරාවර්තන හැකියාවක් ඇත.
GX600 ආලේපන උපකරණ මගින් කාබනික ආලෝක විමෝචක ද්රව්ය හෝ ලෝහ ද්රව්ය උපස්ථරයට නිවැරදිව, ඒකාකාරව සහ පාලනය කළ හැකි ලෙස වාෂ්පීකරණය කළ හැකිය. සරල පටල සෑදීම, ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ ඉහළ සංයුක්තතාවයේ වාසි එහි ඇත. සම්පූර්ණ ස්වයංක්රීය පටල ඝණකම තත්ය කාලීන අධීක්ෂණ පද්ධතියට ක්රියාවලියේ පුනරාවර්තන හැකියාව සහ ස්ථාවරත්වය සහතික කළ හැකිය. ක්රියාකරුගේ කුසලතා මත යැපීම අඩු කිරීම සඳහා එය ස්වයං දියවීමේ ක්රියාකාරිත්වයකින් සමන්විත වේ.
උපකරණ Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti සහ අනෙකුත් ලෝහ ද්රව්ය සඳහා යෙදිය හැකි අතර, ලෝහ පටල, පාර විද්යුත් ස්ථර පටල, IMD පටල ආදියෙන් ආලේප කළ හැකිය. එය ප්රධාන වශයෙන් අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ භාවිතා වේ, එනම් බල උපාංග, අර්ධ සන්නායක පසුපස ඇසුරුම් උපස්ථර ආලේපනය යනාදිය.
විකල්ප ආකෘති
| ජීඑක්ස් 600 | ජීඑක්ස් 900 |
| φ600*800(මි.මී.) | φ900*H1050(මි.මී.) |
අදාළ උපාංග
බලන්න ක්ලික් කරන්න
GX2050 රූපලාවන්ය විරෝධී ව්යාජ තීන්ත දෘශ්ය ආලේපනය...
උපකරණ වාසි උපකරණ ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණ තාක්ෂණය භාවිතා කරයි, එහිදී ඉලෙක්ට්රෝන කැතෝඩ සූත්රිකාවෙන් විමෝචනය වී නිශ්චිත කදම්භ ධාරාවකට නාභිගත කෙරේ. එවිට කදම්භය ඇක්...
GX2700 දෘශ්ය විචල්ය තීන්ත ආලේපන උපකරණ, ...
උපකරණ ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණ තාක්ෂණය භාවිතා කරයි. කැතෝඩ සූත්රිකාවෙන් ඉලෙක්ට්රෝන විමෝචනය වන අතර එය ත්වරණය වන නිශ්චිත කදම්භ ධාරාවකට නාභිගත කරනු ලැබේ...