وڌايل چمڪ خارج ٿيڻ واري آئن ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي جون عام خاصيتون

1. ورڪ پيس جو تعصب گهٽ آهي

آئنائيزيشن جي شرح کي وڌائڻ لاءِ هڪ ڊوائيس جي اضافي جي ڪري، ڊسچارج ڪرنٽ کثافت وڌي وئي آهي، ۽ بائيس وولٽيج 0.5 ~ 1kV تائين گهٽجي وئي آهي.

تيز توانائي واري آئنز جي گهڻي بمباري ۽ ورڪ پيس جي مٿاڇري تي نقصان جي اثر جي ڪري پٺتي پيل ٿيڻ گهٽجي ويندو آهي.

2. پلازما جي کثافت ۾ اضافو

ٽڪراءُ آئنائيزيشن کي فروغ ڏيڻ لاءِ مختلف قدم شامل ڪيا ويا آهن، ۽ ڌاتو آئنائيزيشن جي شرح 3٪ کان وڌي 15٪ کان وڌيڪ ٿي وئي آهي. ڪوٽنگ چيمبر ۾ چن آئنز ۽ اعليٰ توانائي وارا غير جانبدار ايٽم، نائٽروجن آئنز، اعليٰ توانائي وارا فعال ايٽم ۽ فعال گروپن جي کثافت وڌي وئي آهي، جيڪا مرڪب ٺاهڻ جي رد عمل لاءِ سازگار آهي. مٿي ڏنل مختلف بهتر گلو ڊسچارج آئن ڪوٽنگ ٽيڪنالاجيون وڌيڪ پلازما کثافت تي رد عمل جمع ڪندي TN سخت فلم پرتون حاصل ڪرڻ جي قابل ٿي ويون آهن، پر ڇاڪاڻ ته اهي گلو ڊسچارج قسم سان تعلق رکن ٿيون، ڊسچارج موجوده کثافت ڪافي وڌيڪ نه آهي (اڃا به mA/cm2 سطح)، ۽ مجموعي پلازما کثافت ڪافي وڌيڪ نه آهي، ۽ رد عمل جمع ڪرڻ واري مرڪب ڪوٽنگ جو عمل ڏکيو آهي.

3. پوائنٽ وانپيريشن ماخذ جي ڪوٽنگ رينج ننڍي آهي

مختلف بهتر آئن ڪوٽنگ ٽيڪنالاجيون اليڪٽران بيم جي بخارات جي ذريعن کي استعمال ڪن ٿيون، ۽ گانٽو کي پوائنٽ بخارات جي ذريعن جي طور تي، جيڪو رد عمل جي جمع لاءِ گانٽو کان مٿي هڪ خاص وقفي تائين محدود آهي، تنهنڪري پيداوار گهٽ آهي، عمل ڏکيو آهي، ۽ صنعتي ڪرڻ ڏکيو آهي.

4. اليڪٽرانڪ گن هاءِ پريشر آپريشن

اليڪٽران گن وولٽيج 6~30kV آهي، ۽ ورڪ پيس بائيس وولٽيج 0.5~3kV آهي، جيڪو هاءِ وولٽيج آپريشن سان تعلق رکي ٿو ۽ ان ۾ ڪجهه حفاظتي خطرا آهن.

——هي مضمون گوانگ ڊونگ زينهوا ٽيڪنالاجي پاران جاري ڪيو ويو، هڪآپٽيڪل ڪوٽنگ مشينن جو ٺاهيندڙ.