سامان عمودي سامهون واري دروازي جي جوڙجڪ ۽ ڪلسٽر لي آئوٽ کي اختيار ڪري ٿو. اهو ڌاتو ۽ مختلف نامياتي مواد لاءِ بخارات جي ذريعن سان ليس ٿي سگهي ٿو، ۽ مختلف وضاحتن جي سلڪون ويفرز کي بخارات بڻائي سگهي ٿو. درست ترتيب واري نظام سان ليس، ڪوٽنگ مستحڪم آهي ۽ ڪوٽنگ ۾ سٺي ورجائي صلاحيت آهي.
GX600 ڪوٽنگ جو سامان صحيح، هڪجهڙائي ۽ ڪنٽرول سان نامياتي روشني خارج ڪندڙ مواد يا ڌاتو مواد کي سبسٽريٽ تي بخارات بڻائي سگھي ٿو. ان ۾ سادي فلم ٺهڻ، اعليٰ پاڪائي ۽ اعليٰ ٺوس هجڻ جا فائدا آهن. مڪمل خودڪار فلم جي ٿولهه ريئل ٽائيم مانيٽرنگ سسٽم عمل جي ورجائي ۽ استحڪام کي يقيني بڻائي سگھي ٿو. اهو آپريٽر جي صلاحيتن تي انحصار کي گهٽائڻ لاءِ خود پگھلڻ واري فنڪشن سان ليس آهي.
هي سامان Cu، Al، Co، Cr، Au، Ag، Ni، Ti ۽ ٻين ڌاتو جي مواد تي لاڳو ڪري سگهجي ٿو، ۽ ڌاتو فلم، ڊائيليڪٽرڪ پرت فلم، IMD فلم، وغيره سان ڍڪيل ٿي سگهي ٿو. اهو خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ استعمال ٿيندو آهي، جهڙوڪ پاور ڊوائيسز، سيمي ڪنڊڪٽر ريئر پيڪنگنگ سبسٽريٽ ڪوٽنگ، وغيره.
| جي ايڪس 600 | جي ايڪس 900 |
| φ600*800(ايم ايم) | φ900*H1050(ايم ايم) |