Caracteristici comune ale tehnologiei de acoperire cu ioni de descărcare luminescentă îmbunătățită

1. Tensiunea piesei de prelucrat este scăzută

Datorită adăugării unui dispozitiv pentru creșterea ratei de ionizare, densitatea curentului de descărcare este crescută, iar tensiunea de polarizare este redusă la 0,5~1kV.

Pulverizarea inversă cauzată de bombardamentul excesiv cu ioni de înaltă energie și efectul de deteriorare asupra suprafeței piesei de prelucrat sunt reduse.

2. Densitate plasmatică crescută

Au fost adăugate diverse măsuri pentru a promova ionizarea prin coliziune, iar rata de ionizare a metalelor a crescut de la 3% la peste 15%. Densitatea ionilor de tip barbier și a atomilor neutri de înaltă energie, a ionilor de azot, a atomilor activi de înaltă energie și a grupărilor active din camera de acoperire este crescută, ceea ce conduce la reacția de formare a compușilor. Diversele tehnologii de acoperire cu ioni de descărcare luminiscentă îmbunătățită menționate mai sus au reușit să obțină straturi de peliculă dură TN prin depunere prin reacție la densități plasmatice mai mari, dar deoarece aparțin tipului de descărcare luminiscentă, densitatea curentului de descărcare nu este suficient de mare (încă la nivelul mA/cm2), iar densitatea totală a plasmei nu este suficient de mare, iar procesul de acoperire a compusului prin depunere prin reacție este dificil.

3. Gama de acoperire a sursei de evaporare punctuală este mică

Diverse tehnologii îmbunătățite de acoperire cu ioni utilizează surse de evaporare cu fascicul de electroni și Gantu ca sursă punctuală de evaporare, care este limitată la un anumit interval deasupra Gantu pentru depunerea prin reacție, astfel încât productivitatea este scăzută, procesul este dificil și este dificil de industrializat.

4. Funcționarea pistolului electronic la presiune înaltă

Tensiunea tunului de electroni este de 6~30kV, iar tensiunea de polarizare a piesei de prelucrat este de 0,5~3kV, ceea ce aparține funcționării la înaltă tensiune și prezintă anumite riscuri de siguranță.

——Acest articol a fost publicat de Guangdong Zhenhua Technology, o companieproducător de mașini de acoperire optică.