GX600

Echipamentul adoptă o structură verticală cu ușă frontală și o dispunere în cluster. Poate fi echipat cu surse de evaporare pentru metale și diverse materiale organice și poate evapora napolitane de siliciu de diverse specificații. Echipat cu un sistem de aliniere precisă, acoperirea este stabilă și are o repetabilitate bună.
Echipamentul de acoperire GX600 poate evapora cu precizie, uniform și control materiale organice emițătoare de lumină sau materiale metalice pe substrat. Acesta are avantajele formării simple a peliculei, purității ridicate și compactității ridicate. Sistemul complet automat de monitorizare în timp real a grosimii peliculei poate asigura repetabilitatea și stabilitatea procesului. Este echipat cu funcție de auto-topire pentru a reduce dependența de abilitățile operatorului.
Echipamentul poate fi aplicat pe Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti și alte materiale metalice și poate fi acoperit cu peliculă metalică, peliculă cu strat dielectric, peliculă IMD etc. Este utilizat în principal în industria semiconductorilor, cum ar fi dispozitive de alimentare, acoperirea substratului de ambalare din spate a semiconductorilor etc.