1. A inclinação da peça de trabalho é baixa
Devido à adição de um dispositivo para aumentar a taxa de ionização, a densidade da corrente de descarga é aumentada e a tensão de polarização é reduzida para 0,5~1kV.
A pulverização reversa causada pelo bombardeio excessivo de íons de alta energia e o efeito de dano na superfície da peça de trabalho são reduzidos.
2. Aumento da densidade plasmática
Várias medidas para promover a ionização por colisão foram adicionadas, e a taxa de ionização de metais aumentou de 3% para mais de 15%. A densidade de íons chin e átomos neutros de alta energia, íons nitrogênio, átomos ativos de alta energia e grupos ativos na câmara de revestimento foi aumentada, o que favorece a reação para formar compostos. As diversas tecnologias de revestimento iônico por descarga luminescente aprimoradas mencionadas anteriormente conseguiram obter camadas de filme rígido TN por deposição por reação em densidades de plasma mais altas, mas, por pertencerem ao tipo de descarga luminescente, a densidade de corrente de descarga não é alta o suficiente (ainda no nível de mA/cm²), e a densidade geral do plasma não é alta o suficiente, dificultando o processo de revestimento composto por deposição por reação.
3. O alcance do revestimento da fonte de evaporação pontual é pequeno
Várias tecnologias de revestimento iônico aprimorado usam fontes de evaporação de feixe de elétrons e gantu como uma fonte de evaporação pontual, que é limitada a um certo intervalo acima de gantu para deposição de reação, então a produtividade é baixa, o processo é difícil e é difícil de industrializar.
4. Operação de alta pressão com pistola eletrônica
A tensão do canhão de elétrons é de 6 a 30 kV, e a tensão de polarização da peça de trabalho é de 0,5 a 3 kV, o que pertence à operação de alta tensão e apresenta certos riscos à segurança.
——Este artigo foi publicado pela Guangdong Zhenhua Technology, umafabricante de máquinas de revestimento óptico.
Data de publicação: 12 de maio de 2023