دا تجهیزات د دروازې عمودی جوړښت او د کلستر ترتیب غوره کوي. دا د فلزاتو او مختلفو عضوي موادو لپاره د تبخیر سرچینو سره سمبال کیدی شي، او کولی شي د مختلفو ځانګړتیاو سیلیکون ویفرونه تبخیر کړي. د دقیق سمون سیسټم سره سمبال شوی، کوټینګ مستحکم دی او کوټینګ ښه تکرار وړتیا لري.
د GX600 کوټینګ تجهیزات کولی شي په دقت، مساوي او کنټرول وړ ډول عضوي رڼا خپروونکي مواد یا فلزي مواد په سبسټریټ باندې تبخیر کړي. دا د ساده فلم جوړونې، لوړ پاکوالي او لوړ کمپیکٹنس ګټې لري. د بشپړ اتوماتیک فلم ضخامت ریښتیني وخت څارنې سیسټم کولی شي د پروسې تکرار او ثبات ډاډمن کړي. دا د ځان ویلې کولو فعالیت سره سمبال دی ترڅو د آپریټر مهارتونو باندې تکیه کمه کړي.
دا تجهیزات په Cu، Al، Co، Cr، Au، Ag، Ni، Ti او نورو فلزي موادو کې کارول کیدی شي، او د فلزي فلم، ډایالټریک پرت فلم، IMD فلم، او نورو سره پوښل کیدی شي. دا په عمده توګه د سیمیکمډکټر صنعت کې کارول کیږي، لکه د بریښنا وسایل، د سیمیکمډکټر شاته بسته بندۍ سبسټریټ کوټینګ، او نور.
| GX600 د لوړ کیفیت لرونکي | GX900 د لوړ کیفیت لرونکي |
| φ600*800(ملي متره) | φ900*H1050(ملي متره) |