1. Odchylenie przedmiotu obrabianego jest niskie
Dzięki dodaniu urządzenia zwiększającego szybkość jonizacji, gęstość prądu rozładowania ulega zwiększeniu, a napięcie polaryzacji zmniejsza się do 0,5~1 kV.
Zmniejsza się rozpylanie wsteczne spowodowane nadmiernym bombardowaniem jonami o wysokiej energii, a także uszkodzenia powierzchni przedmiotu obrabianego.
2. Zwiększona gęstość plazmy
Dodano różne środki w celu promowania jonizacji kolizyjnej, a szybkość jonizacji metalu wzrosła z 3% do ponad 15%. Gęstość jonów chin i wysokoenergetycznych atomów neutralnych, jonów azotu, wysokoenergetycznych atomów aktywnych i grup aktywnych w komorze powlekania jest zwiększona, co sprzyja reakcji tworzenia związków. Powyższe różne ulepszone technologie powlekania jonami z wyładowaniem jarzeniowym umożliwiły uzyskanie twardych warstw TN poprzez osadzanie reakcyjne przy wyższych gęstościach plazmy, ale ponieważ należą one do typu wyładowania jarzeniowego, gęstość prądu rozładowania nie jest wystarczająco wysoka (nadal poziom mA/cm2), a ogólna gęstość plazmy nie jest wystarczająco wysoka, a proces osadzania reakcyjnego powłoki złożonej jest trudny.
3. Zasięg powłoki źródła parowania punktowego jest niewielki
Różne ulepszone technologie powlekania jonowego wykorzystują źródła odparowywania wiązką elektronów i gantu jako źródło odparowywania punktowego, które jest ograniczone do pewnego przedziału powyżej gantu w celu przeprowadzenia reakcji osadzania, więc wydajność jest niska, proces jest trudny i trudny do uprzemysłowienia.
4. Elektroniczna praca pistoletu wysokociśnieniowego
Napięcie wyrzutni elektronowej wynosi 6~30 kV, a napięcie polaryzacji przedmiotu obrabianego wynosi 0,5~3 kV, co jest typowe dla pracy przy wysokim napięciu i wiąże się z pewnymi zagrożeniami bezpieczeństwa.
——Artykuł ten został opublikowany przez Guangdong Zhenhua Technology,producent maszyn do powlekania optycznego.
Czas publikacji: 12-05-2023