ਇਹ ਉਪਕਰਣ ਸਾਹਮਣੇ ਵਾਲੇ ਦਰਵਾਜ਼ੇ ਦੀ ਲੰਬਕਾਰੀ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਕਲੱਸਟਰ ਲੇਆਉਟ ਨੂੰ ਅਪਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਧਾਤਾਂ ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਜੈਵਿਕ ਪਦਾਰਥਾਂ ਲਈ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਸਰੋਤਾਂ ਨਾਲ ਲੈਸ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ ਸਿਸਟਮ ਨਾਲ ਲੈਸ, ਕੋਟਿੰਗ ਸਥਿਰ ਹੈ ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਚੰਗੀ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ ਹੈ।
GX600 ਕੋਟਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਜੈਵਿਕ ਪ੍ਰਕਾਸ਼-ਨਿਕਾਸ ਕਰਨ ਵਾਲੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਜਾਂ ਧਾਤ ਦੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਸਹੀ, ਸਮਾਨ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਢੰਗ ਨਾਲ ਭਾਫ਼ ਬਣਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਵਿੱਚ ਸਧਾਰਨ ਫਿਲਮ ਨਿਰਮਾਣ, ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਸੰਖੇਪਤਾ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ। ਪੂਰੀ-ਆਟੋਮੈਟਿਕ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਨਿਗਰਾਨੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਆਪਰੇਟਰ ਦੇ ਹੁਨਰਾਂ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰਤਾ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਲਈ ਸਵੈ-ਪਿਘਲਣ ਫੰਕਸ਼ਨ ਨਾਲ ਲੈਸ ਹੈ।
ਇਹ ਉਪਕਰਨ Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ਅਤੇ ਹੋਰ ਧਾਤੂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਧਾਤੂ ਫਿਲਮ, ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਲੇਅਰ ਫਿਲਮ, IMD ਫਿਲਮ, ਆਦਿ ਨਾਲ ਲੇਪ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਰੀਅਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਸਬਸਟਰੇਟ ਕੋਟਿੰਗ, ਆਦਿ।
| ਜੀਐਕਸ 600 | ਜੀਐਕਸ 900 |
| φ600*800(ਮਿਲੀਮੀਟਰ) | φ900*H1050(ਮਿਲੀਮੀਟਰ) |