୧. ୱର୍କପିସ୍ ପକ୍ଷପାତ କମ୍ ଅଛି
ଆୟନାଇଜେସନ ହାର ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଉପକରଣ ଯୋଡାଯିବା ଯୋଗୁଁ, ନିର୍ଗତ କରେଣ୍ଟ ଘନତା ବୃଦ୍ଧି ପାଏ, ଏବଂ ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜ 0.5~1kV କୁ ହ୍ରାସ ପାଏ।
ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଆୟନର ଅତ୍ୟଧିକ ବୋମା ମାଡ଼ ଯୋଗୁଁ ବ୍ୟାକସ୍ପୁଟରିଂ ଏବଂ ୱାର୍କପିସ୍ ପୃଷ୍ଠ ଉପରେ କ୍ଷତି ପ୍ରଭାବ ହ୍ରାସ ପାଏ।
୨. ପ୍ଲାଜ୍ମା ଘନତ୍ୱ ବୃଦ୍ଧି
ସଂଘର୍ଷ ଆୟନାୟକରଣକୁ ପ୍ରୋତ୍ସାହିତ କରିବା ପାଇଁ ବିଭିନ୍ନ ପଦକ୍ଷେପ ଯୋଡାଯାଇଛି, ଏବଂ ଧାତୁ ଆୟନାୟକରଣ ହାର 3% ରୁ 15% ରୁ ଅଧିକ ହୋଇଛି। ଆବରଣ ଚାମ୍ବରରେ ଚିନ୍ ଆୟନ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ନିରପେକ୍ଷ ପରମାଣୁ, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଆୟନ, ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ସକ୍ରିୟ ପରମାଣୁ ଏବଂ ସକ୍ରିୟ ଗୋଷ୍ଠୀର ଘନତା ବୃଦ୍ଧି ପାଇଛି, ଯାହା ଯୌଗିକ ଗଠନ ପାଇଁ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଅନୁକୂଳ। ଉପରୋକ୍ତ ବିଭିନ୍ନ ଉନ୍ନତ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ଆୟନ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାଗୁଡ଼ିକ ଉଚ୍ଚ ପ୍ଲାଜମା ଘନତ୍ୱରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଜମା ଦ୍ୱାରା TN କଠିନ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ପାଇବାରେ ସକ୍ଷମ ହୋଇଛି, କିନ୍ତୁ ଯେହେତୁ ସେଗୁଡ଼ିକ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ପ୍ରକାରର, ଡିସଚାର୍ଜ କରେଣ୍ଟ ଘନତ୍ୱ ଯଥେଷ୍ଟ ଅଧିକ ନୁହେଁ (ଏବେ ମଧ୍ୟ mA/cm2 ସ୍ତର), ଏବଂ ସାମଗ୍ରିକ ପ୍ଲାଜମା ଘନତ୍ୱ ଯଥେଷ୍ଟ ଅଧିକ ନୁହେଁ, ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଜମା ଯୌଗିକ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା କଷ୍ଟକର।
3. ବିନ୍ଦୁ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସର ଆବରଣ ପରିସର ଛୋଟ।
ବିଭିନ୍ନ ଉନ୍ନତ ଆୟନ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ ବିମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ ଏବଂ ଗାଣ୍ଟୁକୁ ଏକ ବିନ୍ଦୁ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯାହା ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଜମା ପାଇଁ ଗାଣ୍ଟୁ ଉପରେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବ୍ୟବଧାନରେ ସୀମିତ, ତେଣୁ ଉତ୍ପାଦକତା କମ୍, ପ୍ରକ୍ରିୟା କଷ୍ଟକର ଏବଂ ଶିଳ୍ପୀକରଣ କରିବା କଷ୍ଟକର।
୪. ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ବନ୍ଧୁକ ଉଚ୍ଚ-ଚାପ କାର୍ଯ୍ୟ
ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ଗନ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ 6~30kV, ଏବଂ ୱର୍କପିସ୍ ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ 0.5~3kV, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ଭୋଲଟେଜ୍ କାର୍ଯ୍ୟ ସହିତ ଜଡିତ ଏବଂ ଏଥିରେ କିଛି ସୁରକ୍ଷା ବିପଦ ରହିଛି।
——ଏହି ଲେଖାଟି ଗୁଆଙ୍ଗଡୋଙ୍ଗ୍ ଝେନହୁଆ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା, ଏକଅପ୍ଟିକାଲ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତା.
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମଇ-୧୨-୨୦୨୩