1. Arbeidsstykkets forspenning er lav
På grunn av tillegg av en enhet for å øke ioniseringshastigheten økes utladningsstrømtettheten, og forspenningen reduseres til 0,5 ~ 1 kV.
Baksputteringen forårsaket av overdreven bombardement av høyenergiioner og skadeeffekten på arbeidsstykkets overflate reduseres.
2. Økt plasmatetthet
Ulike tiltak for å fremme kollisjonionisering er blitt lagt til, og metallioniseringsraten har økt fra 3 % til mer enn 15 %. Tettheten av hainioner og høyenergiske nøytrale atomer, nitrogenioner, høyenergiske aktive atomer og aktive grupper i belegningskammeret økes, noe som bidrar til reaksjonen for å danne forbindelser. De ovennevnte forskjellige forbedrede glødeutladningsionbeleggteknologiene har vært i stand til å oppnå TN-hardfilmlag ved reaksjonsavsetning ved høyere plasmatettheter, men fordi de tilhører glødeutladningstypen, er utladningsstrømtettheten ikke høy nok (fortsatt mA/cm2-nivå), og den totale plasmatettheten er ikke høy nok, og prosessen med reaksjonsavsetning av forbindelsesbelegg er vanskelig.
3. Beleggområdet til punktfordampningskilden er lite
Ulike forbedrede ionbeleggteknologier bruker elektronstrålefordampningskilder og gantu som en punktfordampningskilde, som er begrenset til et visst intervall over gantu for reaksjonsavsetning, slik at produktiviteten er lav, prosessen er vanskelig og den er vanskelig å industrialisere.
4. Elektronisk høytrykksdrift med pistol
Elektronkanonspenningen er 6 ~ 30 kV, og arbeidsstykkets forspenning er 0,5 ~ 3 kV, noe som tilhører høyspenningsdrift og har visse sikkerhetsrisikoer.
——Denne artikkelen ble publisert av Guangdong Zhenhua Technology, enprodusent av optiske beleggmaskiner.
Publiseringstid: 12. mai 2023