GX600

Utstyret bruker vertikal frontdørstruktur og klyngeoppsett. Det kan utstyres med fordampningskilder for metaller og diverse organiske materialer, og kan fordampe silisiumskiver med ulike spesifikasjoner. Utstyrt med presisjonsjusteringssystem er belegget stabilt og belegget har god repeterbarhet.
GX600-beleggsutstyr kan nøyaktig, jevnt og kontrollerbart fordampe organiske lysemitterende materialer eller metallmaterialer på underlaget. Det har fordelene med enkel filmdannelse, høy renhet og høy kompakthet. Det helautomatiske sanntidsovervåkingssystemet for filmtykkelse kan sikre repeterbarhet og stabilitet i prosessen. Det er utstyrt med selvsmeltende funksjon for å redusere avhengigheten av operatørens ferdigheter.
Utstyret kan brukes på Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti og andre metallmaterialer, og kan belegges med metallfilm, dielektrisk lagfilm, IMD-film, etc. Det brukes hovedsakelig i halvlederindustrien, for eksempel kraftenheter, halvlederbakpakningssubstratbelegg, etc.