Karatteristiċi komuni tat-teknoloġija msaħħa tal-kisi tal-jone ta' skariku tad-dawl

1. Il-preġudizzju tal-biċċa tax-xogħol huwa baxx

Minħabba ż-żieda ta' apparat biex tiżdied ir-rata ta' jonizzazzjoni, id-densità tal-kurrent tal-ħruġ tiżdied, u l-vultaġġ tal-preġudizzju jitnaqqas għal 0.5 ~ 1kV.

Il-backsputtering ikkawżat minn bumbardament eċċessiv ta' joni ta' enerġija għolja u l-effett tal-ħsara fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol huma mnaqqsa.

2. Żieda fid-densità tal-plażma

Ġew miżjuda diversi miżuri biex jippromwovu l-jonizzazzjoni tal-ħabta, u r-rata ta' jonizzazzjoni tal-metall żdiedet minn 3% għal aktar minn 15%. Id-densità tal-joni tal-geddum u l-atomi newtrali ta' enerġija għolja, il-joni tan-nitroġenu, l-atomi attivi ta' enerġija għolja u l-gruppi attivi fil-kompartiment tal-kisi żdiedet, li jwassal għar-reazzjoni biex jiffurmaw komposti. It-teknoloġiji varji ta' kisi tal-joni ta' skariku tad-dawl imsaħħa msemmija hawn fuq irnexxielhom jiksbu saffi ta' film iebes TN permezz ta' depożizzjoni ta' reazzjoni b'densitajiet ogħla ta' plażma, iżda minħabba li jappartjenu għat-tip ta' skariku tad-dawl, id-densità tal-kurrent tal-iskariku mhijiex għolja biżżejjed (għadha livell ta' mA/cm2), u d-densità ġenerali tal-plażma mhijiex għolja biżżejjed, u l-proċess ta' kisi tal-kompost ta' depożizzjoni ta' reazzjoni huwa diffiċli.

3. Il-firxa tal-kisi tas-sors tal-evaporazzjoni tal-punt hija żgħira

Diversi teknoloġiji mtejba ta' kisi joniku jużaw sorsi ta' evaporazzjoni tar-raġġ tal-elettroni, u gantu bħala sors ta' evaporazzjoni puntwali, li huwa limitat għal ċertu intervall 'il fuq minn gantu għad-depożizzjoni tar-reazzjoni, għalhekk il-produttività hija baxxa, il-proċess huwa diffiċli, u huwa diffiċli li jiġi industrijalizzat.

4. Tħaddim ta' pistola elettronika bi pressjoni għolja

Il-vultaġġ tal-kanun tal-elettroni huwa ta' 6 ~ 30kV, u l-vultaġġ tal-preġudizzju tal-biċċa tax-xogħol huwa ta' 0.5 ~ 3kV, li jappartjeni għal operazzjoni ta' vultaġġ għoli u għandu ċerti perikli ta' sigurtà.

——Dan l-artiklu ġie ppubblikat minn Guangdong Zhenhua Technology, kumpanijamanifattur ta' magni tal-kisi ottiku.