It-tagħmir jadotta struttura vertikali tal-bieb ta' quddiem u tqassim ta' raggruppament. Jista' jkun mgħammar b'sorsi ta' evaporazzjoni għal metalli u diversi materjali organiċi, u jista' jevapora wejfers tas-silikon ta' speċifikazzjonijiet varji. Mgħammar b'sistema ta' allinjament preċiż, il-kisi huwa stabbli u l-kisi għandu ripetibbiltà tajba.
It-tagħmir tal-kisi GX600 jista' jevapora b'mod preċiż, uniformi u kontrollat materjali organiċi li jarmu d-dawl jew materjali tal-metall fuq is-sottostrat. Għandu l-vantaġġi ta' formazzjoni sempliċi tal-film, purità għolja u kumpattezza għolja. Is-sistema ta' monitoraġġ tal-ħxuna tal-film kompletament awtomatika f'ħin reali tista' tiżgura r-ripetibbiltà u l-istabbiltà tal-proċess. Huwa mgħammar b'funzjoni ta' tidwib awtomatiku biex tnaqqas id-dipendenza fuq il-ħiliet tal-operatur.
It-tagħmir jista' jiġi applikat għal Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti u materjali oħra tal-metall, u jista' jkun miksi b'film tal-metall, film tas-saff dielettriku, film IMD, eċċ. Jintuża prinċipalment fl-industrija tas-semikondutturi, bħal apparati tal-enerġija, kisi tas-sottostrat tal-ippakkjar ta' wara tas-semikondutturi, eċċ.
| GX600 | GX900 |
| φ600 * 800 (mm) | φ900*H1050(mm) |