മെച്ചപ്പെടുത്തിയ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ പൊതു സവിശേഷതകൾ

1. വർക്ക്പീസ് ബയസ് കുറവാണ്

അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു ഉപകരണം ചേർക്കുന്നതിനാൽ, ഡിസ്ചാർജ് കറന്റ് സാന്ദ്രത വർദ്ധിക്കുകയും ബയസ് വോൾട്ടേജ് 0.5~1kV ആയി കുറയുകയും ചെയ്യുന്നു.

ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള അയോണുകളുടെ അമിതമായ ബോംബാക്രമണം മൂലമുണ്ടാകുന്ന ബാക്ക്‌സ്‌പട്ടറിംഗും വർക്ക്‌പീസ് പ്രതലത്തിലുണ്ടാകുന്ന കേടുപാടുകളും കുറയുന്നു.

2. വർദ്ധിച്ച പ്ലാസ്മ സാന്ദ്രത

കൂട്ടിയിടി അയോണൈസേഷൻ പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നതിനുള്ള വിവിധ നടപടികൾ ചേർത്തിട്ടുണ്ട്, കൂടാതെ ലോഹ അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക് 3% ൽ നിന്ന് 15% ൽ കൂടുതലായി വർദ്ധിച്ചു. കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിലെ ചിൻ അയോണുകളുടെയും ഉയർന്ന ഊർജ്ജ ന്യൂട്രൽ ആറ്റങ്ങളുടെയും, നൈട്രജൻ അയോണുകളുടെയും, ഉയർന്ന ഊർജ്ജ സജീവ ആറ്റങ്ങളുടെയും, സജീവ ഗ്രൂപ്പുകളുടെയും സാന്ദ്രത വർദ്ധിക്കുന്നു, ഇത് സംയുക്തങ്ങൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിനുള്ള പ്രതിപ്രവർത്തനത്തിന് അനുകൂലമാണ്. മുകളിലുള്ള വിവിധ മെച്ചപ്പെടുത്തിയ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾക്ക് ഉയർന്ന പ്ലാസ്മ സാന്ദ്രതയിൽ പ്രതിപ്രവർത്തന നിക്ഷേപം വഴി TN ഹാർഡ് ഫിലിം പാളികൾ നേടാൻ കഴിഞ്ഞു, എന്നാൽ അവ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് തരത്തിൽ പെടുന്നതിനാൽ, ഡിസ്ചാർജ് കറന്റ് സാന്ദ്രത വേണ്ടത്ര ഉയർന്നതല്ല (ഇപ്പോഴും mA/cm2 ലെവൽ), കൂടാതെ മൊത്തത്തിലുള്ള പ്ലാസ്മ സാന്ദ്രത വേണ്ടത്ര ഉയർന്നതല്ല, കൂടാതെ പ്രതിപ്രവർത്തന നിക്ഷേപ സംയുക്ത കോട്ടിംഗിന്റെ പ്രക്രിയ ബുദ്ധിമുട്ടാണ്.

3. പോയിന്റ് ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സിന്റെ ആവരണ പരിധി ചെറുതാണ്.

വിവിധ മെച്ചപ്പെടുത്തിയ അയോൺ കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾ ഇലക്ട്രോൺ ബീം ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സുകളും, ഗന്റുവിനെ ഒരു പോയിന്റ് ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സായും ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് പ്രതിപ്രവർത്തന നിക്ഷേപത്തിനായി ഗന്റുവിന് മുകളിലുള്ള ഒരു നിശ്ചിത ഇടവേളയിലേക്ക് പരിമിതപ്പെടുത്തിയിരിക്കുന്നു, അതിനാൽ ഉൽപ്പാദനക്ഷമത കുറവാണ്, പ്രക്രിയ ബുദ്ധിമുട്ടാണ്, വ്യാവസായികവൽക്കരിക്കാൻ പ്രയാസമാണ്.

4. ഇലക്ട്രോണിക് തോക്ക് ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലുള്ള പ്രവർത്തനം

ഇലക്ട്രോൺ ഗൺ വോൾട്ടേജ് 6~30kV ആണ്, വർക്ക്പീസ് ബയസ് വോൾട്ടേജ് 0.5~3kV ആണ്, ഇത് ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് പ്രവർത്തനത്തിൽ പെടുന്നു, കൂടാതെ ചില സുരക്ഷാ അപകടങ്ങളുമുണ്ട്.

——ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത് ഗ്വാങ്‌ഡോങ് ഷെൻ‌ഹുവ ടെക്‌നോളജി, എഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗ് മെഷീനുകളുടെ നിർമ്മാതാവ്.