ഈ ഉപകരണങ്ങൾ ലംബമായ മുൻവാതിൽ ഘടനയും ക്ലസ്റ്റർ ലേഔട്ടും സ്വീകരിക്കുന്നു. ലോഹങ്ങളുടെയും വിവിധ ജൈവ വസ്തുക്കളുടെയും ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സുകൾ ഇതിൽ സജ്ജീകരിക്കാം, കൂടാതെ വിവിധ സ്പെസിഫിക്കേഷനുകളുടെ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ബാഷ്പീകരിക്കാനും കഴിയും. പ്രിസിഷൻ അലൈൻമെന്റ് സിസ്റ്റം കൊണ്ട് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്ന ഈ കോട്ടിംഗ് സ്ഥിരതയുള്ളതും കോട്ടിംഗിന് നല്ല ആവർത്തനക്ഷമതയുമുണ്ട്.
GX600 കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ജൈവ പ്രകാശം പുറപ്പെടുവിക്കുന്ന വസ്തുക്കളെയോ ലോഹ വസ്തുക്കളെയോ കൃത്യമായി, തുല്യമായും, നിയന്ത്രിതമായും അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് ബാഷ്പീകരിക്കാൻ കഴിയും. ലളിതമായ ഫിലിം രൂപീകരണം, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി, ഉയർന്ന ഒതുക്കം എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങൾ ഇതിനുണ്ട്. പൂർണ്ണ-ഓട്ടോമാറ്റിക് ഫിലിം കനം തത്സമയ നിരീക്ഷണ സംവിധാനത്തിന് പ്രക്രിയയുടെ ആവർത്തനക്ഷമതയും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കാൻ കഴിയും. ഓപ്പറേറ്ററുടെ കഴിവുകളെ ആശ്രയിക്കുന്നത് കുറയ്ക്കുന്നതിന് ഇത് സ്വയം ഉരുകൽ പ്രവർത്തനം കൊണ്ട് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു.
ഈ ഉപകരണങ്ങൾ Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti, മറ്റ് ലോഹ വസ്തുക്കൾ എന്നിവയിൽ പ്രയോഗിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ മെറ്റൽ ഫിലിം, ഡൈഇലക്ട്രിക് ലെയർ ഫിലിം, IMD ഫിലിം മുതലായവ ഉപയോഗിച്ച് പൂശാനും കഴിയും. ഇത് പ്രധാനമായും അർദ്ധചാലക വ്യവസായത്തിലാണ് ഉപയോഗിക്കുന്നത്, പവർ ഉപകരണങ്ങൾ, സെമികണ്ടക്ടർ റിയർ പാക്കേജിംഗ് സബ്സ്ട്രേറ്റ് കോട്ടിംഗ് മുതലായവ.
| ജിഎക്സ്600 | ജിഎക്സ്900 |
| φ600*800(മില്ലീമീറ്റർ) | φ900*H1050(മില്ലീമീറ്റർ) |