1. Sagataves nobīde ir zema
Pievienojot ierīci jonizācijas ātruma palielināšanai, palielinās izlādes strāvas blīvums un tiek samazināts slīpo spriegums līdz 0,5–1 kV.
Pārmērīgas augstas enerģijas jonu bombardēšanas izraisītā atpakaļizsmidzināšana un bojājuma ietekme uz sagataves virsmu tiek samazināta.
2. Palielināts plazmas blīvums
Ir pievienoti dažādi pasākumi sadursmju jonizācijas veicināšanai, un metālu jonizācijas ātrums ir palielinājies no 3% līdz vairāk nekā 15%. Palielināts chin jonu un augstas enerģijas neitrālo atomu, slāpekļa jonu, augstas enerģijas aktīvo atomu un aktīvo grupu blīvums pārklāšanas kamerā, kas veicina reakciju, veidojot savienojumus. Iepriekš minētās dažādās uzlabotās kvēlojošas izlādes jonu pārklāšanas tehnoloģijas ir spējušas iegūt TN cietās plēves slāņus, izmantojot reakcijas nogulsnēšanos ar lielāku plazmas blīvumu, taču, tā kā tās pieder pie kvēlojošas izlādes veida, izlādes strāvas blīvums nav pietiekami augsts (joprojām mA/cm2 līmenis), un kopējais plazmas blīvums nav pietiekami augsts, un reakcijas nogulsnēšanās savienojuma pārklāšanas process ir sarežģīts.
3. Punktveida iztvaikošanas avota pārklājuma diapazons ir mazs
Dažādās uzlabotās jonu pārklāšanas tehnoloģijās tiek izmantoti elektronu staru iztvaikošanas avoti un gantu kā punktveida iztvaikošanas avots, kas reakcijas nogulsnēšanai ir ierobežots līdz noteiktam intervālam virs gantu, tāpēc produktivitāte ir zema, process ir sarežģīts un to ir grūti industrializēt.
4. Elektroniskā pistoles augstspiediena darbība
Elektronu lielgabala spriegums ir 6–30 kV, un sagataves nobīdes spriegums ir 0,5–3 kV, kas pieder pie augstsprieguma darbības un rada zināmus drošības apdraudējumus.
—— Šo rakstu publicēja Guangdong Zhenhua Technology, aoptisko pārklājumu mašīnu ražotājs.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 12. maijs